[发明专利]红外焦平面封装窗口的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学器件的制作方法，尤其涉及一种红外焦平面封装窗口的制作方法。

背景技术

红外焦平面探测技术的发展对器件封装与红外薄膜滤光片提出了更高的要求。新一代封装技术将红外薄膜滤光片与红外窗口集成在一起，红外薄膜滤光片直接镀制在红外窗口中央，窗口四周金属化，最后将红外窗口与红外焦平面阵列焊接成红外焦平面探测器。

红外窗口制作过程中采用掩膜技术制作红外薄膜与焊接金属的图形。先在四周制作红外薄膜掩膜，遮挡金属化区域，镀制红外薄膜后去除掩膜，留下中央的红外薄膜。然后制作金属掩膜，遮挡住红外薄膜，再金属化，完成后去除掩膜。

目前，掩膜技术中普遍采用光刻方法制备掩膜图形。该方法精度高，可以达到微米量级。但是，该方法具有以下几个缺点：

1、成本高：光刻机、版图以及光刻胶价格昂贵，增加生产成本，降低产品竞争力。

2、工艺复杂：光刻法需要涂胶、光刻、曝光、显影几个步骤才能获得所需图形，工艺过程复杂。

3、光刻胶高温性能差，超过120℃时即发生炭化，影响红外窗口的性能。

4、红外焦平面封装窗口图形精度为亚毫米量级，不需要光刻方法所具有的精度。

发明内容

本发明的目的，就是为了解决上述问题，提供一种红外焦平面封装窗口的制作方法。

为了达到上述目的，本发明采用了以下技术方案：一种红外焦平面封装窗口的制作方法，是在一块矩形或圆形基片的中间部分镀制一层矩形或圆形红外薄膜作为红外薄膜区，在四周镀制一层金属薄膜作为金属化区；其特点是，所述的红外薄膜是通过将基片置于一个专用夹具中，将四周金属化区遮盖，留出中间红外薄膜区镀制而成；所述的金属薄膜是通过将己镀制好红外薄膜的基片将红外薄膜用高温胶带作为掩膜覆盖住，留出四周金属化区镀制而成。

所述的专用夹具设有一个用于嵌装基片的型槽，该型槽的中间部分设有一个与所述的红外薄膜区适配的通孔，周边形成与所述的金属化区适配的内台阶。

所述的高温胶带用贴膜机粘贴在红外薄膜上，该高温胶带以聚酰亚胺为基材，以硅胶为粘结剂。

本发明由于采用了以上技术方案，使其与现有技术相比，具有以下的优点和和特点：

1、由于采用了专用夹具，并且将夹具设计成所需结构作为红外薄膜掩膜，这种方法把镀制红外薄膜与制作红外薄膜图形结合在一起，大大简化了工艺过程。

2、利用高温胶带作为金属薄膜掩膜直接覆盖红外薄膜，同样简化了工艺过程，并且高温胶带可以耐受200℃高温，克服了光刻胶不能耐受高温的缺点。

3、机械夹具成本低，并且可以反复使用。同样，高温胶带也具有价格低廉的特点。使用这种方法制作红外封装窗口的金属区与红外薄膜图形可以大大降低生产成本。

附图说明

图1是本发明中的专用夹具及用该夹具在基片上镀制红外薄膜的示意图；

图2是在基片中间镀制了一层红外薄膜的示意图；

图3是在红外薄膜上粘贴了一层高温胶带的示意图；

图4是制作成的基片中间为红外薄膜区、四周为金属化区的红外焦平面封装窗口的结构示意图。

具体实施方式

本发明红外焦平面封装窗口的制作方法，是在一块矩形或圆形基片的中间部分镀制一层矩形或圆形红外薄膜作为红外薄膜区，在四周镀制一层金属薄膜作为金属化区；其中的红外薄膜是通过将基片置于一个专用夹具中，将四周金属化区遮盖，留出中间红外薄膜区镀制而成；金属薄膜是通过将己镀制好红外薄膜的基片将红外薄膜用高温胶带作为掩膜覆盖住，留出四周金属化区镀制而成。

具体方法可结合附图说明如下：

a、将清洁好的基片2放入专用夹具1中，如图1所示，使需要镀制红外薄膜的中间部分21暴露在夹具的通孔12，四周金属化区22则被内台阶13封盖；

b、镀制红外薄膜；

c、把基片2从夹具1中取出，在基片2中间得到满足图形要求的红外薄膜3，周边为待镀金属区22，如图2所示；

d、利用贴膜机粘贴高温胶带掩膜4，覆盖住红外薄膜区，留出四周待镀金属区22，如图3所示；

e、镀制金属薄膜；

f、撕去高温胶带掩膜，如图4所示，则得到中间为红外薄膜3、四周为金属薄膜5的红外焦平面封装窗口。

本发明中所用的专用夹具如图1所示，它设有一个用于嵌装基片的型槽11，型槽的中间部分设有一个与红外薄膜区适配的通孔12，周边形成与金属化区适配的内台阶13。

本发明中所用的高温胶带以聚酰亚胺为基材，以硅胶为粘结剂，可以耐受200℃高温。

实施例1