[发明专利]靶材生产用锭材的制备方法无效
| 申请号： | 200910251359.5 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN101704076A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;钱红兵;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22D11/119 | 分类号： | B22D11/119;B22D1/00;C23C14/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 用锭材 制备 方法 | ||
1.一种靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，包括：
提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中，所述母材为原铝；
将所述真空熔炼炉中的母材熔融；
对所述熔融金属进行脱气处理；
从熔融金属中取样，进行制品分析；
将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器，进行连续铸造，形成靶材生产用锭材，所述浇道内设置有至少一道的滤网。
2.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述滤网材料为耐高温材料。
3.如权利要求2所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述滤网材料为SiO2、Al2O3或者石墨。
4.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述滤网设置于浇道的横截面。
5.如权利要求4所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述滤网的目数的范围为：10ppi≤所述滤网的目数≤100ppi。
6.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述将所述真空熔炼炉中的母材熔融的主要工艺参数包括：工作温度为600摄氏度至1000摄氏度，压强为0.01托至1.00托。
7.如权利要求1或6所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，还包括在将所述真空熔炼炉中的母材熔融时添加氢元素和/或硼元素。
8.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，还包括在对所述熔融金属进行脱气处理之前去除真空熔炼炉中熔融金属表面的氧化膜的步骤。
9.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，还包括在对所述熔融金属进行脱气处理之后去除真空熔炼炉中熔融金属表面的氧化膜的步骤。
10.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，对所述熔融金属进行脱气处理是通过添加脱气剂实现的。
11.如权利要求1所述的靶材生产用锭材的制备方法，其特征在于，所述对起出后的靶材生产用锭材进行成品检验至少包括外部检验和内部检验。
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