[发明专利]扩散炉中的统一金属熔合

权利要求书

1.使用扩散炉的统一金属熔合的方法，包括：

将多个可熔合部件层叠在固定装置上；

通过固定于该固定装置的销对齐该可熔合部件；

将带有该对齐的可熔合部件的固定装置放入该扩散炉的反应室；

在预定义的驻留温度执行第一级熔合，持续预定义的驻留时间；以及

在预定义的铜焊温度执行第二级熔合，持续预定义的铜焊时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

该可熔合部件包括多个喷射层叠板，各该喷射层叠板具有镀有第二金属的第一金属；

执行该第一级熔合包括将一个喷射层叠板的该第一金属的至少一个元素与另一喷射层叠板的该第二金属熔合，并在不使用粘合压紧的情况下在该第一金属的该至少一个元素和该第二金属之间形成粘合；以及

执行该第二级熔合包括将该一个喷射层叠板的该第一金属的至少另一元素与该其他喷射层叠板的该第二金属熔合。

3.根据权利要求2所述的方法，其中执行该第一级熔合包括在不使用粘合压紧的情况下，在该第一金属的该至少一个元素与该第二金属之间形成粘合。

4.根据权利要求2所述的方法，其中层叠进一步包括：

将该多个喷射层叠板布置成套件，每个套件对应于一个喷射层叠；

将具有第一厚度的分隔板设在各该套件之间；以及

将具有大于该陶瓷板的第一厚度的第二厚度的陶瓷顶板设在该套件上，以及

其中执行该第一和第二级熔合包括在对应于该喷射层叠板、该陶瓷板和该陶瓷顶板重量的相对低压下熔合，以便降低该多个喷射层叠板的表面损伤。

5.根据权利要求1所述的方法，其中：

该预定义的驻留温度是大约600摄氏度；

该预定义的驻留时间是大约20分钟；

该预定义的铜焊温度是大约1100摄氏度；和

该预定义的铜焊时间是大约4分钟。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

基本上排空该扩散炉的反应室的氧气(O₂)；

基本上将该反应室填充氢气(H₂)；以及

在还原氢气(H₂)气体环境中执行该第一级熔合和第二级熔合。

7.一种固定装置，包括：

多个从该固定装置表面突出的陶瓷销，该陶瓷销构造为对齐多个可熔合部件；

至少三个限定用于该可熔合部件的可层叠区的区域，每个区域通过该固定装置中的开口隔开；以及

在该固定装置表面下方的多个支撑元件，以提供对该固定装置和该可熔合部件的结构支撑，

其中该固定装置构造为能够插入扩散炉以将该可熔合部件熔合为至少一个熔合的部件。

8.根据权利要求7所述的固定装置，其中：

该固定装置包括不锈钢；

该可熔合部件包括喷射层叠板；以及

该至少一个熔合的部件包括至少一个喷射层叠。

9.根据权利要求7所述的固定装置，其中：

该陶瓷销构造为将多个喷射层叠板对齐为柱体；

每个柱体对应该至少三个区域之一并包括多个套件，每个套件包括对应于一个喷射层叠的一些喷射层叠板；以及

该陶瓷销构造为对齐设在各该多个套件之间的多个陶瓷板。

10.使用扩散炉进行统一金属熔合的方法，包括：

将多个喷射层叠板层叠在固定装置上；

通过固定于该固定装置的销对齐该喷射层叠板；

将具有对齐的喷射层叠板的固定装置放入该扩散炉的反应室中；

在预定义的驻留温度下执行第一级熔合，持续预定义的驻留时间，以将一个喷射层叠板的硅(Si)与另一层叠板的金(Au)熔合；以及

在预定义的铜焊温度执行第二级熔合，持续预定义的铜焊时间，以将该一个喷射层叠板的锰(Mn)和铁(Fe)与其他喷射层叠板的金(Au)熔合。