[发明专利]抗蚀剂无效
| 申请号： | 200910252535.7 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN101762978A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 栗原一真;中野隆志;岛隆之;富永淳二;藤冈和也;末广一郎 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术综合研究所;日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂，其含有金属氮氧化物而成。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，金属氮氧化物含有选自由Pt、Ag、Pd和W所构成的组中的至少1种作为主要成分。
3.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，金属氮氧化物中的氧的含有率为55～80Atom％，氮的含有率为5～30Atom％。
4.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其进一步含有第1发热层和第2发热层，且按照该第1发热层、金属氮氧化物层和第2发热层的顺序直接或间接层压而成。
5.根据权利要求4所述的抗蚀剂，其中，第1发热层和第2发热层由AgInSbTe的合金构成。
6.一种成形模具的制造方法，其包括：
工序A：将权利要求1所述的抗蚀剂层压至模具材料的工序；
工序B：从工序A中层压的抗蚀剂的上方进行激光照射，在抗蚀剂中形成贯通孔的工序；和
工序C：对于在工序B中形成的贯通孔处露出的模具材料的表面进行蚀刻的工序。
7.一种成形模具，其通过权利要求6所述的制造方法获得。
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