[发明专利]用于具有主动柔顺性的测试头的操纵器

权利要求书

1.一种将测试头与处理器对接的方法，所述方法包括如下步骤：

测量沿着所述测试头的多根运动轴的至少一根的不平衡力；

向所述不平衡力提供反力；以及

将附在所述测试头和所述处理器之一上的多个对准结构的至少一个与附在所述测试头和所述处理器另一个上的多个对准插孔的至少一个对准，所述对准步骤是提供所述反力的同时完成的。

2.如权利要求1所述的方法，还包括如下步骤：

在对接所述测试头的同时，保持所述反力。

3.如权利要求1所述的方法，还包括如下步骤：

记录所述反力的大小。

4.如权利要求1所述的方法，还包括如下步骤：

在使所述测试头脱离之前，重新施加所述反力。

5.如权利要求1所述的方法，还包括如下步骤：

借助于气压缸施加所述反力。

6.如权利要求5所述的方法，还包括如下步骤：

测量和记录产生所述反力的气体压力。

7.如权利要求6所述的方法，还包括如下步骤：

在对接所述测试头的同时，保持施加在所述气压缸上的气体压力。

8.如权利要求6所述的方法，还包括如下步骤：

在使所述测试头脱离之前，恢复气体压力并将气体压力重新施加到所述气压缸上。

9.一种将测试头与器件处理器对接的方法，所述方法包括如下步骤：

提供包括如下配置的设备：

控制器；

具有受控制器控制的致动器并限定交接面的对接设备；

测试头操纵器，其包括：

使测试头相对于交接面与器件处理器平面化的两个或更多个运动自由度；

使测试头沿着与交接面垂直的轴运动的、受控制器控制的一根或多根运动驱动轴；

操纵测试头进入准备对准位置；

使测试头平面化；

沿着所述轴把测试头驱动到准备驱动位置；以及

操作致动器，把测试头推入完全对接位置。

10.如权利要求9所述的方法，还包括如下步骤：

当处在完全对接位置中时，锁闩测试头。

11.如权利要求9所述的方法，还包括如下步骤：

当测试头处在完全对接位置中时，锁闩驱动轴。

12.如权利要求9所述的方法，其中，平衡与所述两个或更多个自由度相对应的一根或多根轴。

13.如权利要求9所述的方法，其中，与所述两个或更多个自由度相对应的一根或多根轴是柔顺的。

14.如权利要求9所述的方法，其中，与所述两个或更多个自由度相对应的一根或多根轴受到驱动并由控制器控制。

15.如权利要求9所述的方法，其中，一根或多根驱动轴是柔顺的。

16.如权利要求9所述的方法，其中，一根或多根驱动轴是平衡的。

17.如权利要求12所述的方法，其中，一根或多根平衡轴由平衡单元来平衡。

18.如权利要求17所述的方法，还包括如下步骤：

在对接所述测试头的同时，保持所述平衡单元提供的反力，以使所述一根或多根平衡轴平衡。

19.如权利要求17所述的方法，还包括如下步骤：

记录所述平衡单元提供的使所述一根或多根平衡轴平衡的反力的大小。

20.如权利要求17所述的方法，还包括如下步骤：

在使所述测试头脱离之前，重新施加由所述平衡单元提供的使所述一根或多根平衡轴平衡的反力。

21.如权利要求17所述的方法，还包括如下步骤：

借助于气压缸施加由所述平衡单元提供的使所述一根或多根平衡轴平衡的反力。

22.如权利要求21所述的方法，还包括如下步骤：

测量和记录产生所述反力的气体压力。

23.如权利要求21所述的方法，还包括如下步骤：

在对接所述测试头的同时，保持施加在所述气压缸上的气体压力。