[发明专利]一种管路拆卸夹具

说明书

技术领域

本发明涉及管路拆卸领域，特别是涉及一种采用了凸轮结构的管路拆卸夹具。

背景技术

目前，各种尺寸各种类型的管路在工业、民用、科学研究领域都有着广泛应用。例如半导体制程设备、化工厂机器设备等，工业上最典型的应用是在半导体生产制造中各种高、低真空管路的使用。通常所知，在半导体制造的各个流程中对设备作业环境的要求很高，为保证半导体产品性能完全符合设计要求以及较高的良品率，所以制程设备在其内部作业空间内大都形成真空环境。而制程腔体与真空泵之间必然由真空管路连接，由于各种制程气体的使用管路中往往附着着各种不同的附着物，而真空管路一般需要定期更换以便清洁，如何拆卸真空管路而不引起安全事故便是一个需要解决的问题。

真空管路的连接一般由两段管路连接而成，中间加以密封圈，再以管路夹锁紧。在更换管路进行管路拆卸时，如果设备使用的是可燃易燃制程气体那就存在很大的安全隐患，在拆卸这些危险管路时如果管路有摩擦或碰撞则极易引起火灾，如果密封圈不小心掉落地上碰撞也极易引起火灾，火灾对于一个半导体FAB(晶圆工厂)来说其危害可能是毁灭性的，因此，有必要改善拆卸管路的作业手法，并设计合适的工具来进行管路拆卸作业。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足，本发明的目的是提出一种管路拆卸夹具，能避免管路拆卸时的径向摩擦碰撞，并还能避免密封圈掉落而引起的事故。

为了达到上述目的，本发明提出了一种管路拆卸夹具，包括：

底座；

夹爪，分别位于所述底座的左右两侧，用于夹紧所述管路接口处两端的管路，并且所述夹爪在所述底座上是可轴向移动的；

凸轮，位于所述底座中央腔体中，且所述凸轮与凸轮手柄相连，凸轮手柄的转动带动凸轮转动；

其中，所述凸轮的转动使左右两侧的夹爪之间的间距变化，当凸轮位于第一位置时，左右两侧的夹爪之间的间距最小，当凸轮转动至第二位置时，左右夹爪之间的间距最大。

作为上述技术方案的优选，还包括承载盘，所述承载盘位于具有所述凸轮的所述腔体的正上方，且直接与所述底座连接。

作为上述技术方案的优选，所述承载盘的内部放置有蘸水海绵。

作为上述技术方案的优选，还包括端止板，位于所述底座的左右最外侧，用于阻挡所述夹爪。

作为上述技术方案的优选，在所述夹爪与所述端止板之间具有弹簧槽，所述弹簧槽中安装有弹簧，当所述凸轮向第一位置转动时，所述弹簧释放，将夹爪向所述凸轮方向推进；当所述凸轮向第二位置转动时，夹爪向底座外侧移动，压缩所述弹簧。

作为上述技术方案的优选，所述夹爪由用于夹紧管路的第一部分和用于在所述底座上移动的第二部分。

作为上述技术方案的优选，所述第一部分的内侧具有可以径向移动的夹块，以使所述夹爪适于夹紧各种管径的管路。

作为上述技术方案的优选，所述夹块的径向移动由径向安装在所述夹块中的调整螺栓实现。

作为上述技术方案的优选，所述夹块的数量为3个，并在所述第一部分的内侧成120度夹角分布。

作为上述技术方案的优选，所述夹爪的第二部分连接有推杆，所述凸轮与所述推杆相互作用，所述推杆带动所述夹爪在所述底座上轴向移动。

使用本发明提出的管路拆卸夹具，拆卸易燃管路时先将夹具固定于管路接口的左右两侧，然后拆下管路夹，最后在凸轮的旋转作用下使管路沿轴向分离，从而避免了管路径向的摩擦和碰撞，且如果是水平管路，管路密封环会掉落于承载盘避免了密封环掉落引起的碰撞。总之使用该夹具可以减少损坏管路和引起安全事故的风险。

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1为本发明提出的管路拆卸夹具的底座的示意图；

图2为图1沿A-A的剖面图；

图3为图1沿B-B的剖面图；

图4为本发明提出的管路拆卸夹具的夹爪的示意图；

图5为图4沿C-C的剖面图；

图6为图1沿D-D的剖面图；

图7为使用本发明提出的管路拆卸夹具的安装示意图；

图8为使用本发明提出的管路拆卸夹具分离管路的示意图。

具体实施方式

本发明提出的管路拆卸夹具如图1、图2、图3、图4、图5、图6所示，包括：

底座10；