[发明专利]光刻设备和定位设备

说明书

技术领域

本发明涉及光刻设备。本发明还涉及定位设备。

背景技术

光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造中。在这种情况下，可以将可选地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成在所述IC的单层上待形成的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或多个管芯)上。通常，图案的转移是通过把图案成像到提供到衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上进行的。通常，单独的衬底将包含被连续形成图案的相邻目标部分的网络。公知的光刻设备包括：所谓步进机，在所述步进机中，通过将全部图案一次曝光到所述目标部分上来辐射每一个目标部分；以及所谓扫描器，在所述扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、同时沿与该方向平行或反向平行的方向扫描所述衬底来辐射每一个目标部分。也能够以通过将图案压印(imprinting)到衬底的方式从图案形成装置将图案转移到衬底上。

通常，光刻设备包括可移动的物体。这样的物体可以相对于另一物体(例如框架(例如基础框架或量测框架))移动。可移动物体的一个例子是例如衬底或图案形成装置的支撑结构，其可以移动以在图案转移过程中相对于辐射束定位衬底和/或图案形成装置，其中，将图案从图案形成装置转移至衬底。尤其在扫描器中，两个支撑结构都是可移动的。

在一个物体相对另一物体可移动时，电缆和/或软管可以设置在它们之间，以将电力、数据、流体等从一个物体转送至另一物体，反之亦然。可移动物体可以包括致动器形式的热源，其可以相对于另一物体或另一热源定位可移动的物体。这些热源可能影响可移动物体的温度和/或温度分布。在将可移动物体用于光刻设备的图案转移过程中时，优选地控制温度(可能的话使其处于千分之一开尔文(millikelvin)范围内)，以便最小化成像问题和/或重叠误差。在这种情形中，可以通过使预定温度的流体通过可移动的物体，来控制可移动物体的温度，其中流体通过软管传送至可移动物体和从可移动物体通过软管传送离开。

然而，在两个相对移动的物体之间定位电缆和/或软管可能限制了可移动物体的可获得的位置精度，这是因为电缆和/或软管引入了力扰动。在承载流体的软管的情形中，这些力扰动可能是流动流体本身的惯性力的结果和/或流体和可移动物体的加速度或减速度之间的相互作用。结合降低可移动物体的质量的趋势和对精度和加速度(＞15G)的增加的需求，这些扰动变得不可接受并可能导致光刻设备的成像问题和/或重叠误差。

发明内容

期望提供一种减少的成像问题和/或重叠误差的光刻设备。还期望改善温度受控制的可移动的物体的可获得的位置精度。

根据本发明的一个实施例，提供了一种光刻设备，其包括：可移动的第一物体和包括热交换体的热交换器，该热交换体包括具有电热或磁热性质的材料，和被配置以通过与可移动的第一物体交换热量来影响第一物体的温度；和发生器，其被配置以将电磁场供给至热交换体以适应热交换体的温度，以便冷却或加热第一物体。

根据本发明的另一实施例，提供了定位设备，以相对于第二物体定位第一物体，所述定位设备包括热交换器，该热交换器包括热交换体，该热交换体包括具有电热或磁热性质的材料，该热交换体被配置以与第一物体和第二物体进行热量交换；和发生器，其被配置以将电磁场供给至热交换体以适应热交换体的温度，以便冷却或加热第一物体，其中，热交换体被配置以在第一位置与第一物体交换热量，和在第二位置与第二物体交换热量，所述热交换器还包括定位系统，该定位系统被配置以在第一和第二位置之间至少移动热交换体的一部分。

附图说明

下面仅通过示例的方式，参考示意性附图对本发明的实施例进行描述，其中示意性附图中相应的参考标记表示相应的部件，在附图中：

图1示出根据本发明的实施例的光刻设备；

图2示出可以通过根据本发明的一个实施例的热交换组件来控制温度的物体的示意图；

图3示出根据本发明的另一实施例的热交换组件的示意图；

图4示出根据本发明的又一实施例的热交换组件的示意图；

图5示出根据本发明的还一实施例的热交换组件的示意图；以及

图6示出根据本发明的包括热交换组件的定位设备的示意图。

具体实施方式