[发明专利]高纯度铜靶材的制作方法

权利要求书

1.一种高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供铜料件，所述铜料件具有原始厚度；

对所述铜料件进行冷压延，制成目标铜靶材；

对所述目标铜靶材进行热处理。

2.根据权利要求1所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述冷压延步骤包括：

第一冷压延，经过所述第一冷压延，铜料件厚度与原始厚度的比值大于等于1/2，所述第一冷压延中每次压延量为第一压延量；

第二冷压延，经过所述第二冷压延，铜料件厚度与原始厚度的比值大于等于1/4且小于1/2，所述第二冷压延中每次压延量为第二压延量；

第三冷压延，经过所述第三冷压延，形成所述目标铜靶材，目标铜靶材的厚度与原始厚度的比值小于1/4，所述第三冷压延中每次压延量为第三压延量；

所述第一压延量、第二压延量、第三压延量依次减小。

3.根据权利要求2所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压延量为3～5mm，第二压延量为2～3mm，第三压延量为1～2mm。

4.根据权利要求2所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述第一冷压延中每次冷压延后铜料件以垂直于被压延表面方向为轴转动第一角度；所述第二冷压延中每次冷压延后铜料件以垂直于被压延表面方向为轴转动第二角度；所述第三冷压延中每次冷压延后铜料件以垂直于被压延表面方向为轴转动第三角度。

5.根据权利要求4所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于所述第一角度、第二角度、第三角度相同。

6.根据权利要求4所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述第一角度、第二角度、第三角度为45～135度。

7.根据权利要求2所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，若所述铜料件在第一冷压延、第二冷压延、第三冷压延的每次压延后，铜料件温度大于等于70℃时，要用液体进行冷却，所述液体温度为室温。

8.根据权利要求1所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述热处理温度为300～350℃，时间为2小时。所述热处理在加热炉中进行。

9.根据权利要求8所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述加热炉的腔体中放置有沙子，所述目标铜靶材放置在所述沙子中。

10.根据权利要求1所述的高纯度铜靶材的制作方法，其特征在于，所述高纯度铜靶材的制作方法还包括热处理后的冷却步骤，所述冷却在液体中进行，所述液体温度为室温。