[发明专利]检查装置和检查方法

说明书

技术领域 

本发明涉及一种利用太赫兹波对对象进行检查的检查装置和检 查方法。在本说明书中，将频率范围包括从30GHz到30THz(包含 30GHz和30THz)范围的至少一部分的电磁波称为太赫兹波。

背景技术

传统上，已使用傅立叶分析，从透射过样品(对象)或者被样品 反射的太赫兹波的时间波形，研究该样品的吸收率与折射率的频率依 赖性。

然而，在太赫兹波的时间波形中所包括的宽频率范围内，吸收率 与折射率的频率依赖性对于每种材料是独特的。在该情况下，待比较 的数据量的增加成为难题。

为了解决上述问题，日本特开平10-153547号公报公开了一种方 法，所述方法用于将太赫兹波的时间波形中所包括的分光(dispersion) 相关信息压缩成少量数据，并且从经压缩的数据中识别材料的成分。 日本特开平10-153547号公报公开了使用小波分析作为其压缩方法。

发明内容

然而，日本特开平10-153547号公报未公开执行小波分析的具体 方法。特别是，没有针对小波展开系数的公开内容。

本发明的目的是使用数据量相对少的展开系数来对对象(样品) 进行检查(例如对对象进行识别或者成像)。

本发明致力于一种用于检查对象的检查装置，所述检查装置包 括：照射单元，所述照射单元用于用太赫兹波照射所述对象；检测单 元，所述检测单元用于检测从所述对象获得的太赫兹波；变换单元， 所述变换单元用于对利用由所述检测单元检测到的所述太赫兹波而获 得的所述太赫兹波的时间波形执行小波变换；选择单元，所述选择单 元用于从所述小波变换中的第一展开系数中选择预先存储的第二展开 系数，并且所述第二展开系数包括在所述第一展开系数中；以及比较 单元，所述比较单元将所述第二展开系数的第一值与由所述选择单元 选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。

所述第二展开系数可以是利用具有特征谱部分的参照物获得的 展开系数，并且与所述特征谱部分相关，所述检查装置包括确定单元， 所述确定单元用于基于所述比较单元所获得的结果，确定所述对象是 否是所述参照物。

本发明致力于一种用于检查对象的检查方法，所述检查方法包 括：用太赫兹波照射所述对象；检测从所述对象获得的太赫兹波；对 利用在所述检测步骤中检测到的所述太赫兹波而获得的所述太赫兹波 的时间波形，执行小波变换；从所述小波变换中的第一展开系数中选 择预先存储的第二展开系数，并且所述第二展开系数包括在所述第一 展开系数中；以及将所述第二展开系数的第一值与在所述选择步骤中 选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。

第二展开系数可以是利用具有特征谱部分的参照物获得的展开 系数，并且所述第二展开系数与所述特征谱部分相关，所述检查方法 包括基于在所述比较步骤中获得的结果，确定所述对象是否是所述参 照物。

本发明致力于一种计算机可读存储介质，其存储有使计算机执行 所述检查方法的程序。

本发明致力于一种使计算机执行所述检查方法的程序。

本发明致力于一种提取方法，所述提取方法用于从具有特征谱部 分的参照物提取与所述特征谱部分相关的展开系数，所述提取方法包 括：获得步骤，获得从所述参照物反射或者散射，或者透射过所述参 照物的太赫兹波的波形；第一变换步骤，对在所述获得步骤中获得的 太赫兹时间波形执行小波变换；反变换步骤，对所述小波变换中的展 开系数的一部分执行小波反变换；第二变换步骤，对在所述反变换步 骤中获得的所述太赫兹时间波形执行傅立叶变换，其中在改变所述展 开系数的所述一部分的同时，重复执行所述反变换步骤和所述第二变 换步骤。

在所述提取方法中，执行小波反变换可包括：在指定所述展开系 数的所述一部分时设置阈值，所述提取方法被设置为：用零值替换大 于或等于所述设置阈值或者小于或等于所述设置阈值的所述展开系数 的值。