[发明专利]等离子基板图层的涂覆方法和装置无效

专利信息
申请号: 200910259371.0 申请日: 2009-12-22
公开(公告)号: CN101728152A 公开(公告)日: 2010-06-09
发明(设计)人: 赵之明;田玉民;宋利建 申请(专利权)人: 四川虹欧显示器件有限公司
主分类号: H01J9/20 分类号: H01J9/20
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚
地址: 621000 四川省绵阳市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 等离子 基板图层 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种等离子基板图层的涂覆方法,其特征在于,包括:

在所述等离子基板上设置一层掩模,其中,所述掩模具有与所述待涂覆的图案相同的镂空结构;

将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上;

将所涂覆的浆料进行干燥;

将所述掩模从所述等离子基板上去除。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述掩模为胶带或塑料膜。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述胶带为热失效胶带。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述掩模的厚度T<A+B,其中,A表示所需涂覆在所述等离子基板上的浆料的厚度,B表示用于涂覆所述浆料的喷嘴与由所述浆料形成的湿膜之间的间隙。

5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述等离子基板上设置一层掩模的步骤包括:

将所述胶带缠绕在滚轮上;

通过滚轮将所述胶带粘在等离子基板上,形成所述一层掩模。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上的步骤包括:

通过喷嘴将所述浆料连续喷涂在所述等离子基板上。

7.一种等离子基板图层的涂覆装置,其特征在于,包括:

掩模设置部件,用于在所述等离子基板上设置一层掩模,其中,所述掩模具有与所述待涂覆的图案相同的镂空结构;

涂覆部件,用于将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上;

干燥部件,用于将所涂覆的浆料进行干燥;

去除部件,用于将所述掩模从所述等离子基板上去除。

8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述掩模为胶带或塑料膜。

9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述胶带为热失效胶带。

10.根据权利要求8或9所述的装置,其特征在于,所述掩模的厚度T<A+B,其中,A表示所需涂覆在所述等离子基板上的浆料的厚度,B表示用于涂覆所述浆料的喷嘴与由所述浆料形成的湿膜之间的间隙。

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