[发明专利]等离子基板图层的涂覆方法和装置无效
申请号: | 200910259371.0 | 申请日: | 2009-12-22 |
公开(公告)号: | CN101728152A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 赵之明;田玉民;宋利建 | 申请(专利权)人: | 四川虹欧显示器件有限公司 |
主分类号: | H01J9/20 | 分类号: | H01J9/20 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚 |
地址: | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子 基板图层 方法 装置 | ||
1.一种等离子基板图层的涂覆方法,其特征在于,包括:
在所述等离子基板上设置一层掩模,其中,所述掩模具有与所述待涂覆的图案相同的镂空结构;
将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上;
将所涂覆的浆料进行干燥;
将所述掩模从所述等离子基板上去除。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述掩模为胶带或塑料膜。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述胶带为热失效胶带。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述掩模的厚度T<A+B,其中,A表示所需涂覆在所述等离子基板上的浆料的厚度,B表示用于涂覆所述浆料的喷嘴与由所述浆料形成的湿膜之间的间隙。
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述等离子基板上设置一层掩模的步骤包括:
将所述胶带缠绕在滚轮上;
通过滚轮将所述胶带粘在等离子基板上,形成所述一层掩模。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上的步骤包括:
通过喷嘴将所述浆料连续喷涂在所述等离子基板上。
7.一种等离子基板图层的涂覆装置,其特征在于,包括:
掩模设置部件,用于在所述等离子基板上设置一层掩模,其中,所述掩模具有与所述待涂覆的图案相同的镂空结构;
涂覆部件,用于将浆料涂覆在带有所述掩模的等离子基板上;
干燥部件,用于将所涂覆的浆料进行干燥;
去除部件,用于将所述掩模从所述等离子基板上去除。
8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述掩模为胶带或塑料膜。
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述胶带为热失效胶带。
10.根据权利要求8或9所述的装置,其特征在于,所述掩模的厚度T<A+B,其中,A表示所需涂覆在所述等离子基板上的浆料的厚度,B表示用于涂覆所述浆料的喷嘴与由所述浆料形成的湿膜之间的间隙。
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