[发明专利]双电容非接触式厚度测量系统无效
| 申请号： | 200910260041.3 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102109318A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 卓家轩 | 申请（专利权）人： | 财团法人精密机械研究发展中心 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 接触 厚度 测量 系统 | ||
1.一种双电容非接触式厚度测量系统，是用以测量一待测量物的厚度，其特征在于，其包含：
一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；
一第一电容位移感测器，可活动且相对该第一基准面；
一第二电容位移感测器，可移动且相对该第二基准面；
其中该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该第一基准面及该第二基准面取得一基准讯号，且该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该待测量物的表面取得一测量讯号。
2.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一第一间距形成在该第一电容位移感测器与该第一基准面之间，以及一第二间距形成在该第二电容位移感测器与该第二基准面之间，该待测量物通过该第一间距及该第二间距。
3.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，其中该基准导电板的第一基准面与第二基准面系相对。
4.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一轨道，及一滑座可移动地组设在该轨道，其中该轨道平行该导电板，该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器相对地组设在该滑座上。
5.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一基准滚轮位在该基准导电板一端，该基准滚轮的直径大于第一基准面与该第二基准面之间距。
6.一种双电容非接触式厚度测量系统，用以测量一待测量物的厚度，其特征在于，其包含：
一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；
一滑座，可活动地位在该基准导电板一端；
一第一电容位移感测器，组设在该滑座上且相对该第一基准面；
一第二电容位移感测器，组设在该滑座上且相对该第二基准面及该第一电容位移感测器；
一第一间距，形成在该第一电容位移感测器与该第一基准面之间；
一第二间距，形成在该第二电容位移感测器与该第二基准面之间；
一基准滚轮，位在该基准导电板一端，其直径大于该第一基准面与该第二基准面间的距离；
其中该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该第一基准面及该第二基准面取得一基准讯号，且该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该待测量物的表面取得一测量讯号。
7.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，其中该基准导电板的第一基准面与第二基准面相对。
8.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含二辅助滚轮，其分别位在基准导电板二侧，且该待测量物绕置在该基准滚轮及各该辅助滚轮的表面。
9.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一轨道，该轨道平行该基准导电板，且该滑座可移动地组设在该轨道。
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