[发明专利]垂直梯度凝固技术生长单晶系统中自动压力稳定系统无效
| 申请号： | 200910260297.4 | 申请日： | 2009-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN102108542A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;苏小平;张峰燚;涂凡;杨海;黎建明 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直 梯度 凝固 技术 生长 晶系 自动 压力 稳定 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种垂直梯度凝固技术生长单晶系统中自动压力稳定系统，其特征在于：它包括：一套PLC控制系统，一个质量流量控制器，一个充气气瓶，炉体上进气口处连接质量流量控制器，用于控制进入炉内的气体流量；放气口处安装可控电动阀，用于控制放气口的闭合，同时质量流量控制器和可控电动阀分别与PLC控制系统上的两个PID表相连接，进气口末端与充气气瓶连接，放气口末端与废气回收装置相连。
2.根据权利要求1所述的一种垂直梯度凝固技术生长单晶系统中自动压力稳定系统，其特征在于：所述的质量流量控制器包括：质量流量计，进气过滤器，流量调节阀。
3.根据权利要求1所述的一种垂直梯度凝固技术生长单晶系统中自动压力稳定系统，其特征在于：放气口处安装可控电动阀回路上还连接有放气过滤器。
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