[发明专利]垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器无效
| 申请号： | 200910260710.7 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102108543A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;苏小平;张峰燚;丁国强;杨海;黎建明 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直 梯度 凝固 晶体生长 炉中多 段式 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器，其特征在于：它包括：石墨套筒、位于石墨套筒内的上加热器、下加热器，石墨套筒内上加热器与固定在上炉盖板上的石墨电极相连，上加热器以氮化硼与石墨套筒连接；或上加热器以石墨块支撑，石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接；下加热器装在石墨套筒内，以石墨块支撑，石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接，石墨套筒以螺丝固定于上炉盖板上。
2.根据权利要求1所述的垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器，其特征在于：石墨套筒由两半圆形石墨圆筒组成。
3.根据权利要求1所述的垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器，其特征在于：石墨套筒由1/4或1/8或1/10圆弧状长板电极组成。
4.根据权利要求1所述的垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器，其特征在于：下加热器为多段加热器，其段的数量为1～5个。
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