[发明专利]玻璃表面的微细加工方法有效
| 申请号： | 200910260860.8 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101746957A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 下平宪昭;堀江满;伊藤正文 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 表面 微细 加工 方法 | ||
1.一种用于在含碱金属氧化物的玻璃的表面上形成凸部的玻璃 表面微细加工方法，所述方法包含：
对与待成为凸部的第二区域的表面相邻的第一区域的表面涂覆保 护层的步骤；
从第二区域的所述表面去除碱离子的步骤；
从第一区域的所述表面去除保护层的步骤；和
对所述第二区域的已去除碱离子的所述表面以及所述第一区域的 已去除保护层的所述表面进行研磨的步骤。
2.根据权利要求1所述的玻璃表面微细加工方法，其中所述从第 二区域的表面去除碱离子的步骤包含将第二区域的表面与酸性液接 触。
3.根据权利要求2所述的玻璃表面微细加工方法，其中所述酸性 液具有5以下的pH值。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃表面微细加工方法，其 中所述玻璃是磁盘用环状玻璃衬底。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃表面微细加工方法，其 中所述玻璃是载玻片。
6.一种用于在含碱金属氧化物的玻璃的表面上形成凸部的玻璃 表面微细加工方法，所述方法包含：
对与待成为凸部的第二区域的表面相邻的第一区域和第三区域的 表面涂覆保护层的步骤；
从第二区域的所述表面去除碱离子的步骤；
从第一区域和第三区域的所述表面去除保护层的步骤；和
对所述第二区域的已去除碱离子的所述表面以及所述第一区域和 第三区域的已去除保护层的所述表面进行研磨的步骤。
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