[发明专利]混合气体的供给方法和混合气体的供给装置

权利要求书

1.一种混合气体的供给方法，通过连接在公共配管上的多个单独 气体供给管线供给多种气体，通过所述公共配管的气体出口部利用混 合气体供给管线向气体使用对象供给该多种气体的混合气体，该混合 气体的供给方法的特征在于：

在同时供给从气体供给源以气体状态供给的通常气体和使用气化 单元对从液体原料供给源供给的液体原料进行加热使其气化而得到的 气体时，

从与通常气体相比距离所述气体出口部较近的位置设置的所述单 独气体供给管线供给所述液体原料气体，并且，将所述液体原料气体 供给到用于除去所述通常气体中的颗粒的过滤器的后级，

利用第一加热器将供给所述液体原料气体的所述单独气体供给管 线的、与所述气化单元的连接部和与所述公共配管的连接部之间加热 至第一温度，

利用第二加热器将所述公共配管的、至少与供给所述液体原料气 体的所述单独气体供给管线的连接部和所述气体出口部之间加热至比 所述第一温度低的第二温度。

2.如权利要求1所述的混合气体的供给方法，其特征在于：

在供给所述液体原料的配管上设置有过滤器，通过除去所述液体 原料中的颗粒来防止颗粒向所述液体原料气体中的混入。

3.如权利要求1所述的混合气体的供给方法，其特征在于：

所述第一温度为使所述液体原料的蒸汽压力成为供给所述液体原 料气体的所述单独气体供给管线内部的压力以上的温度。

4.如权利要求1所述的混合气体的供给方法，其特征在于：

所述第二温度为使所述液体原料的蒸汽压力成为所述公共配管内 的所述液体原料气体的分压以上的温度。

5.如权利要求1或2所述的混合气体的供给方法，其特征在于：

所述气体使用对象为等离子体蚀刻装置的处理腔室。

6.如权利要求1或2所述的混合气体的供给方法，其特征在于：

所述液体原料气体为C₅F₈、C₆F₆、SiCl₄、HF中的至少任一种。

7.一种混合气体的供给装置，通过连接在公共配管上的多个单独 气体供给管线供给多种气体，通过所述公共配管的气体出口部利用混 合气体供给管线向气体使用对象供给该多种气体的混合气体，该混合 气体的供给装置的特征在于：

该混合气体的供给装置构成为：

在同时供给从气体供给源以气体状态供给的通常气体和使用气化 单元对从液体原料供给源供给的液体原料进行加热使其气化而得到的 气体时，

从与通常气体相比距离所述气体出口部较近的位置设置的所述单 独气体供给管线供给所述液体原料气体，并且，将所述液体原料气体 供给到用于除去所述通常气体中的颗粒的过滤器的后级，

该混合气体的供给装置构成为：

利用第一加热器将供给所述液体原料气体的所述单独气体供给管 线的、与所述气化单元的连接部和与所述公共配管的连接部之间加热 至第一温度，

利用第二加热器将所述公共配管的、至少与供给所述液体原料气 体的所述单独气体供给管线的连接部和所述气体出口部之间加热至比 所述第一温度低的第二温度。

8.如权利要求7所述的混合气体的供给装置，其特征在于：

该混合气体的供给装置构成为：

在供给所述液体原料的配管上设置有过滤器，通过除去所述液体 原料中的颗粒来防止颗粒向所述液体原料气体中的混入。

9.如权利要求7所述的混合气体的供给装置，其特征在于：

所述第一温度为使所述液体原料的蒸汽压力成为供给所述液体原 料气体的所述单独气体供给管线内部的压力以上的温度。

10.如权利要求7所述的混合气体的供给装置，其特征在于：

所述第二温度为使所述液体原料的蒸汽压力成为所述公共配管内 的所述液体原料气体的分压以上的温度。