[发明专利]化学增幅正性抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化学增幅正性抗蚀剂组合物，包含：含有在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元的树脂、以及产酸剂，其中，基于所有的结构单元的总摩尔量，所述树脂包含按摩尔计40％至90％的所述在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元，并且所述在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元包含由式(I)表示的结构单元：

其中，R¹代表氢原子或甲基基团，Z代表单键或-(CH₂)_k-CO-O-，k代表1至4的整数，R²在各种情况下独立地是C1-C6烷基基团，以及m代表0至14的整数。

2.根据权利要求1所述的化学增幅正性抗蚀剂组合物，其中，基于所有的结构单元的总摩尔量，所述树脂包含按摩尔计50％至70％的所述在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元。

3.根据权利要求1所述的化学增幅正性抗蚀剂组合物，其中，除了由式(I)表示的结构单元以外，所述在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元进一步包含由式(II)表示的结构单元，条件是由式(II)表示的结构单元与由式(I)表示的单元不同，

其中，R³代表氢原子或甲基基团，Z¹代表单键或-(CH₂)_j-CO-O-，j代表1至4的整数，R⁴代表C1-C8烷基基团或C3-C8环烷基基团，以及环Z²代表未取代或取代的C3-C30环状烃基团。

4.根据权利要求1所述的化学增幅正性抗蚀剂组合物，其中，所述树脂进一步包含由式(IV)表示的结构单元：

其中，R¹²代表氢原子或甲基基团，Z³代表单键或-(CH₂)_j-CO-O-，i代表1至4的整数，以及环Z⁴代表在环结构中具有-CO-O-的未取代或取代的C3-C30环状烃基团。

5.根据权利要求1所述的化学增幅正性抗蚀剂组合物，其中，所述产酸剂是由式(V)表示的产酸剂：

其中，Y¹和Y²每一个独立地代表氟原子或C1-C6全氟烷基基团，R⁴⁰代表可以具有选自由C1-C6烷氧基基团、C1-C4全氟烷基基团、C1-C6羟烷基基团、羟基基团以及氰基基团组成的组中的至少一种的C1-C36烃基团，并且所述烃基团中的一个或多个-CH₂-可以被-CO-、-O-或-COO-代替，以及A⁺代表有机抗衡离子。