[发明专利]一种石英坩埚涂钡工艺及其产品

权利要求书

1.一种石英坩埚涂钡工艺，其特征在于，石英坩埚涂钡工艺步骤包括：在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂，在转数为70-150转/分钟的模具旋转过程中，加热升温达到2400-2900℃；石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型，然后用振动器振动；用石英管向模具内导入70-3500克化合钡，在高温下和坩埚内壁石英砂反应，生成厚度为0.04-1mm mm的硅酸钡；待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂，再用纯水冲洗，在无尘室内净化风干包装。

2.如权利要求1所述的石英坩埚涂钡工艺，其中化合钡采用尤他六掺钡(IOTA-6Ba)。

3.如权利要求1或2所述的石英坩埚涂钡工艺，其中在制造20英寸坩埚中，导入的尤他六掺钡量为120克，在制造24英寸坩埚中，导入的尤他六掺钡量为300克。

4.如权利要求1或2所述的石英坩埚涂钡工艺，其中在制造18英寸坩埚中，导入的尤他六掺钡量为70到980克，在制造22英寸坩埚中，导入的尤他六掺钡量为210到2200克，在制造28英寸坩埚中，导入的尤他六掺钡量为960到3500克。

5.如权利要求1所述的石英坩埚涂钡工艺，其中在制造18英寸坩埚中，模具转数为80转/分钟；在制造20英寸坩埚中，模具转数为83转/分钟；在制造22英寸坩埚中，模具转数为85转/分钟；在制造24寸坩埚中，模具转数为90转/分钟；在制造28英寸坩埚中，模具转数为105转/分钟。

6.一种采用权利要求1工艺所生产的石英坩埚，此种经涂钡的石英坩埚产品包括石英坩埚层和硅酸钡层，硅酸钡层在石英坩埚层内侧。