[发明专利]研磨机盘面整形修正轮

说明书

技术领域

本发明涉及的是研磨机盘面整形修正轮，应用于电子元器件晶体制造领域中的石英水晶片的加工，属于石英电子元器件制作的技术领域。

背景技术

随着电子信息技术的飞速发展，对于频率元件的要求越来越多。作为频率元件的一种，石英晶体也面临更高的品质要求。那么作为石英晶体的核心-水晶片同样也面临更高的可靠性要求。因为研磨机在加工过程中研磨盘面各处磨损不一，为提高研磨水晶片厚度的一致性，必须在研磨机研磨一段时间后对研磨盘的平整度进行修正，以保证研磨过程的品质。现有的研磨机盘面修正方法是由4个修正轮组成，将4个修正轮均匀地啮合在研磨机内外齿圈之间，使修正轮沿着研磨机内齿圈做圆周运动。由附图4可以看出，其无法将上下研磨盘盘面修正到水平位置，只能修正盘面的光洁度。

发明内容

本发明提出一种研磨机盘面整形修正轮，其目的旨在较短的时间内将研磨盘的盘面修复到标准以内，既能改善研磨水晶片厚度的一致性，又能缩短修盘时间，提高设备的使用效率。

本发明的技术解决方案：其特征是由传动轮与整形轮两部分组成，传动轮啮合在外齿圈与整形轮之间，从而保证整形轮沿着内齿圈做圆周运动。

本发明的优点：通过整形轮沿着内齿圈做匀速圆周运动，可以在较短的时间内，使盘面的水平度和光洁度达到要求，从而提高水晶片厚度率的一致性，提高水晶片品质。同时，传动轮与整形轮的运动，可以达到清洗内外齿圈的目的，从而减少游轮消耗。

附图说明：

附图1是本发明工作俯视示意图；

附图2是本发明工作剖示意图；

附图3是现有修正轮工作俯视图；

附图4是现有修正轮工作剖示意图。

图中的1为内齿圈、2为下研磨盘、3为整形轮、4为传动轮、5为外齿圈、6为研磨机中心轴、7是上研磨盘、8是修正轮。

具体实施方式

对照附图1、2，其结构是包括内齿圈1、外齿圈5、研磨机中心轴6、下研磨盘2、上研磨盘7、整形轮3和传动轮4，其中外齿圈5接研磨机中心轴6，传动轮4啮合在整形轮3与外齿圈5之间，从而保证整形轮3沿着内齿圈1做圆周运动。下研磨盘2与上研磨盘7之间是整形轮3，整形轮3可以先修复上研磨盘7和下研磨盘2凸凹起部分，然后再修整盘面的光洁度，将上下研磨盘盘面修正水平、光洁。