[发明专利]一种平板探测器件无效
申请号: | 200910263293.1 | 申请日: | 2009-12-18 |
公开(公告)号: | CN101762820A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 杨兰兰;屠彦;张雄;李青;王保平 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 210096*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平板 探测 器件 | ||
1.一种平板探测器件,包含前基板,后基板,及气密封于前后 基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板(4),所述的前基板包括 前衬底玻璃板(7)、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组(8) 和在前衬底玻璃板下表面蒸镀的薄膜(6),所述的后基板包括后衬底 玻璃板(2)、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组(1)和在后 衬底玻璃板上表面蒸镀的薄膜(3);在网格孔阵列板(4)上涂覆有 一层闪烁体材料(5);网格孔阵列板(4)的网格孔为锥台形通孔, 所述的闪烁体材料(5)涂覆在所述的锥台形通孔内表面,锥台形通 孔的大底面(9)位于网格孔阵列板的上表面,锥台形通孔的小底面 (10)位于网格孔阵列板的下表面,锥台形的上表面与下表面平行, 网格孔阵列板(4)的厚度为50μm-5mm。
2.根据权利要求1所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 锥台为圆锥台或者棱锥台。
3.根据权利要求1所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 网格孔阵列板(4)为金属板或绝缘板。
4.根据权利要求3所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 金属板的材料为铁、铁合金、铜、铝,所述的绝缘板为玻璃、陶瓷或 聚酰亚胺有机薄膜材料。
5.根据权利要求1所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 闪烁体(5)为碘化铯CsI,钨酸锡CdWO或钨酸铅PbWO。
6.根据权利要求1所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 气密封的工作气体是氦,氖,氩,氪,氙的一种或它们的混合气体。
7.根据权利要求1所述的平板探测器件,其特征在于:所述的 第一电极组(8)由银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成,或由铟 锡氧化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成,所述的第二 电极组(1)由银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成,或由铟锡氧 化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成。
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