[发明专利]一种平板探测器件

权利要求书

1.一种平板探测器件，包含前基板，后基板，及气密封于前后 基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板(4)，所述的前基板包括 前衬底玻璃板(7)、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组(8) 和在前衬底玻璃板下表面蒸镀的薄膜(6)，所述的后基板包括后衬底 玻璃板(2)、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组(1)和在后 衬底玻璃板上表面蒸镀的薄膜(3)；在网格孔阵列板(4)上涂覆有 一层闪烁体材料(5)；网格孔阵列板(4)的网格孔为锥台形通孔， 所述的闪烁体材料(5)涂覆在所述的锥台形通孔内表面，锥台形通 孔的大底面(9)位于网格孔阵列板的上表面，锥台形通孔的小底面 (10)位于网格孔阵列板的下表面，锥台形的上表面与下表面平行， 网格孔阵列板(4)的厚度为50μm-5mm。

2.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 锥台为圆锥台或者棱锥台。

3.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 网格孔阵列板(4)为金属板或绝缘板。

4.根据权利要求3所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 金属板的材料为铁、铁合金、铜、铝，所述的绝缘板为玻璃、陶瓷或 聚酰亚胺有机薄膜材料。

5.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 闪烁体(5)为碘化铯CsI，钨酸锡CdWO或钨酸铅PbWO。

6.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 气密封的工作气体是氦，氖，氩，氪，氙的一种或它们的混合气体。

7.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的 第一电极组(8)由银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成，或由铟 锡氧化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成，所述的第二 电极组(1)由银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成，或由铟锡氧 化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成。