[发明专利]切削工具用金刚石被膜有效
| 申请号： | 200910265689.X | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101811385A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 佐藤彰;渡边裕二;萩野贤治;佐藤和崇 | 申请（专利权）人： | 佑能工具株式会社 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;C23C16/00;B23B27/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切削 工具 金刚石 | ||
1.一种切削工具用金刚石被膜，该切削工具用金刚石被膜是形成在 基材上的切削工具用金刚石被膜，其特征在于，
该金刚石被膜包含至少一层以上的多层被膜层，该多层被膜层是交 替层积第一被膜层和第二被膜层各一层以上而形成的，所述第一被膜层 具有0.3μm～3μm的平均结晶粒径，所述第二被膜层的平均结晶粒径大 于所述第一被膜层的平均结晶粒径，并且所述第二被膜层具有0.6μm～6 μm的平均结晶粒径，
在所述基材上紧邻所述基材以1μm～10μm的膜厚形成有所述第一 被膜层，
进一步，在最表层以0.5μm～10μm的膜厚形成有第三被膜层，该 第三被膜层的平均结晶粒径小于所述第一被膜层的平均结晶粒径，并且 所述第三被膜层的平均结晶粒径为0.01μm～0.5μm。
2.如权利要求1所述的切削工具用金刚石被膜，其特征在于，对所 述第一被膜层和所述第二被膜层分别使用波长532nm的激光进行拉曼散 射光谱分析时，所述第一被膜层的拉曼位移1333cm-1附近的峰强度ID和 拉曼位移1450cm-1～1600cm-1附近的峰强度IG之比[ID/IG]在0.9～1.5的 范围，并且，所述第二被膜层的[ID/IG]大于所述第一被膜层的[ID/IG]。
3.如权利要求1所述的切削工具用金刚石被膜，其特征在于，对所 述第一被膜层和所述第三被膜层分别使用波长532nm的激光进行拉曼散 射光谱分析时，所述第一被膜层的拉曼位移1333cm-1附近的峰强度ID和 拉曼位移1450cm-1～1600cm-1附近的峰强度IG之比[ID/IG]大于所述第三 被膜层的[ID/IG]。
4.如权利要求2所述的切削工具用金刚石被膜，其特征在于，对所 述第一被膜层和所述第三被膜层分别使用波长532nm的激光进行拉曼散 射光谱分析时，所述第一被膜层的拉曼位移1333cm-1附近的峰强度ID和 拉曼位移1450cm-1～1600cm-1附近的峰强度IG之比[ID/IG]大于所述第三 被膜层的[ID/IG]。
5.如权利要求1～4任一项所述的切削工具用金刚石被膜，其特征 在于，所述基材是由以WC为主成分的硬质粒子和以Co为主成分的结合 材料构成的超硬合金，所述WC粒子的平均粒径被设定为0.3μm～3μm， 所述Co的含量以重量％计被设定为3%～15%。
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