[发明专利]芯片分拣设备的顶针机构有效

专利信息
申请号: 200910266233.5 申请日: 2009-12-23
公开(公告)号: CN101740451A 公开(公告)日: 2010-06-16
发明(设计)人: 李斌;黄禹;郑振华;吴涛;李海洲;龚时华;尹旭升 申请(专利权)人: 东莞华中科技大学制造工程研究院;东莞市华科制造工程研究院有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/00
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 卞华欣
地址: 523808 广东省东莞市松山湖科技*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 芯片 分拣 设备 顶针 机构
【权利要求书】:

1.芯片分拣设备的顶针机构,包括机架,以及固定于机架的竖 向套筒,所述套筒内设置有可升降的顶针轴,所述顶针轴顶端固定 有顶针,顶针轴与一驱动顶针轴作上下运动的驱动机构连接,其特 征在于:所述顶针轴外缘与套筒内缘之间形成有负压腔,所述负压 腔顶部封盖有顶盖,该顶盖开设有通气孔及供顶针伸出的针孔,所 述顶针轴内开设有连通所述负压腔的排气通道,该排气通道通过设 置于顶针轴下部的气动接头与负压装置连接;

所述顶盖上表面开设有环绕所述针孔的环形槽,所述环形槽与 所述通气孔连通;

所述套筒包括主体、套筒帽和紧固环圈,所述主体固接于机架, 主体上端内缘开设有安装槽,所述套筒帽下端伸入所述安装槽并抵 压安装槽槽底,所述套筒帽下部径向向外凸设有一基座,所述顶盖 设置于所述套筒帽顶端,所述紧固环圈下部伸入所述安装槽内,并 夹设于套筒帽与所述安装槽侧槽壁之间,所述紧固环圈与所述主体 螺接,紧固环圈下端面与所述基座顶面相匹配并抵压于所述基座顶 面,所述套筒帽与安装槽的接触面设置有密封圈;

所述顶针轴与套筒之间设置有直线轴承,该直线轴承设置于所 述负压腔下方,所述顶针轴表面开设有沿长度方向的导向槽,所述 套筒内壁对应所述导向槽的位置凸设有导向滚珠,所述导向滚珠与 所述导向槽滚动配合;

所述顶针轴顶部开设有供顶针插入的插孔,所述插孔孔壁开设 有至少两道的缺口槽,所述顶针轴上部外缘呈直径逐渐减小的锥形 面,所述顶针轴在所述锥形面外固定套接有一轴帽,所述轴帽内缘 与所述锥形面相匹配;

所述驱动机构包括一与伺服电机输出轴连接的偏心凸轮,以及 固定于顶针轴下端并与所述偏心凸轮侧缘接触的托架;

所述托架枢接有一轨迹轴承,托架通过所述轨迹轴承与所述偏 心凸轮接触,所述托架与所述套筒之间设置有使轨迹轴承与偏心凸 轮保持紧密接触的压紧弹簧。

2.根据权利要求1所述的芯片分拣设备的顶针机构,其特征在 于:所述偏心凸轮的轮轴与伺服电机输出轴通过一弹性联轴器连接。

3.根据权利要求2所述的芯片分拣设备的顶针机构,其特征在 于:所述机架设置原位感应器,所述原位感应器与控制所述伺服电 机的控制电路电连接。

4.根据权利要求1所述的芯片分拣设备的顶针机构,其特征在 于:所述机架设置有分别沿X、Y、Z方向调节套筒的调节装置,该 调节装置设置有锁紧装置。

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