[发明专利]衬底处理装置和平板显示器的制造装置

权利要求书

1.一种衬底处理装置，设置有对衬底进行处理的多个处理工作 台，其特征在于包括：

在各处理工作台中进行处理后把上述衬底向下一个处理工作台 间距传送的衬底移动单元；

设置在上述处理工作台内或者前后的处理工作台之间、为了对上 述衬底进行拍摄而在与上述衬底的传送方向垂直的方向上排列了光接 收元件的线阵传感器相机；

检测上述衬底的移动速度的移动速度检测单元；以及

利用上述线阵传感器相机取得的影像信号生成帧图像的图像处 理单元，

基于上述移动速度检测单元检测的上述移动速度进行修正以使 得上述影像信号的间隔成为等间隔，生成上述帧图像。

2.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

通过基于上述衬底的移动速度改变上述线阵传感器相机的驱动 定时来进行上述修正。

3.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述衬底移动单元包括：

支撑上述衬底的衬底支撑部件；

移动上述衬底以使其在上述处理工作台之间往复动作的可动部 件；以及

使上述衬底支撑部件和上述可动部件中的某一个进行升降动作 的升降动作部件，

在上述可动部件上设置有直线状的编码器图案，在与该编码器图 案对置的位置上设置有编码器检测传感器。

4.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述衬底移动单元包括：把旋转方向的动作变换成直进方向的动 作的动作变换单元，

上述移动速度检测单元包括：检测上述旋转方向的动作的角度的 角度检测单元。

5.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述线阵传感器相机把视野范围限定在上述衬底的关注区域而 进行拍摄。

6.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述图像处理单元基于上述帧图像检查上述衬底的部件搭载状 况。

7.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述图像处理单元基于上述帧图像计算上述衬底的位置偏移量。

8.一种平板显示器的制造装置，包括如权利要求1～7中任一项所 述的衬底处理装置，其特征在于：

上述处理工作台包括：

在形成在上述衬底上的多个电极组上贴附各向异性导电膜的各 向异性导电膜贴附工作台；

在隔着上述各向异性导电膜的状态下把电子电路部件搭载并临 时压接到上述衬底上的临时压接工作台；以及

把上述电子电路部件真正压接到上述衬底上的真正压接工作台。