[发明专利]二氧化钒前驱液及其制备薄膜材料的方法

权利要求书

1.一种二氧化钒前驱液，包括如下组分：可溶性钒盐，成膜促进剂和溶剂，其中各组分的 重量比为：

钒元素∶成膜促进剂∶溶剂＝(0.022-3)∶(0.01-8)∶20；

所述可溶性钒盐选自：硫酸氧钒、二氯氧钒、或者为其他价态无机钒盐氧化还原所得 的四价钒离子溶液；

所述成膜促进剂选自：聚乙二醇、聚乙烯醇或tert-辛基酚聚氧乙烯醚；

所述的溶剂为甲醇、乙醇、水、丙酮、氨水、盐酸或乙二醇中的一种或多种的混合；

所述二氧化钒前驱液中还包括加入螯合剂，所述螯合剂的加入摩尔量为钒离子摩尔量 的0.5～2倍。

2.如权利要求1中所述的二氧化钒前驱液，其特征在于，所述其他价态无机钒盐选自五氧 化二钒、偏钒酸钠、二氯氧钒或草酸钒。

3.如权利要求1中所述的二氧化钒前驱液，其特征在于，所述二氧化钒前驱液中包括掺杂 元素，所述的掺杂元素选自钨、钼、铌、氟、铬、钛、铝、钽或锰元素中的一种或多种。

4.权利要求1-3中任一权利要求所述二氧化钒前驱液用于制备二氧化钒薄膜。

5.一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括如下步骤：

1)将权利要求1-3中任一权利要求所述二氧化钒前驱液用旋转涂布法、浸渍涂布法、 流延法、弯月面法或者超声雾化法在金属衬底或非金属衬底表面上形成均匀的前躯体 膜，前躯体膜经干燥得凝胶膜；

2)将步骤1)中制得的凝胶膜在真空炉或气氛炉中，在惰性或弱还原性气氛及高于350 ℃的热处理温度条件下进行热处理即得二氧化钒薄膜。