[发明专利]对位系统及对位方法

权利要求书

1.一种对位系统，适用于对从左至右传输的基板进行高速、高精度对位，其特征在于，包括：

卡位机构，所述卡位机构包括若干气缸及与所述气缸连接的卡位件，所述气缸推动对应的卡位件呈前、左及右三个方位排布，所述卡位件的前、左及右三个方位的排布形成预设位置；

粗对位机构，所述粗对位机构包括左对位机构、右对位机构及前对位机构，所述左对位机构、右对位机构及前对位机构均具有气缸，所述气缸将所述基板推动到所述卡位件形成的预设位置；

精确移动机构，所述精确移动机构包括左精确移动机构及右精确移动机构，所述左精确移动机构及右精确移动机构均具有伺服电机、精密丝杆及与精密丝杆连接的气爪，所述伺服电机驱动所述精密丝杆移动到预设位置用气爪夹持所述基板并将所述基板移动到理论位置；

检测机构，所述检测机构检测所述基板的实际位置，并输出实际位置信息；及

控制处理单元，所述控制处理单元预存所述预设位置的预设信息及理论位置的目标信息，所述控制处理单元根据预设位置信息控制所述卡位件到达所述预设位置并控制左对位机构、右对位机构及前对位机构的气缸将所述基板推动到由卡位件形成的预设位置处，所述控制处理单元接收所述检测机构输出的实际位置信息并控制所述左精确移动机构及右精确移动机构的伺服电机将所述基板移动到理论位置。

2.如权利要求1所述的对位系统，其特征在于：所述对位系统还包括气浮单元，所述气浮单元承载所述基板使所述基板处于悬浮状态。

3.如权利要求1所述的对位系统，其特征在于：所述检测机构包括左图像传感器及右图像传感器，所述左图像传感器检测所述基板的左侧实际位置，并传递左侧实际位置信息至控制处理单元，所述控制处理单元根据所述左侧实际位置信息控制所述左精确移动机构的伺服电机驱动所述基板移动；所述右图像传感器检测所述基板的右侧实际位置，并传递右侧实际位置信息至控制处理单元，所述控制处理单元根据所述右侧实际位置信息控制所述右精确移动机构的伺服电机驱动所述基板移动，通过所述左精确移动机构及右精确移动机构分别对基板的移动使得基板移动到理论位置。

4.一种对位方法，适用于对从左至右传输的基板进行高速、高精度对位，其特征在于，包括如下步骤：

(1)设定所述基板最终所要到达的理论位置的目标信息；

(2)根据目标信息将所述基板进行粗略地推动；

(3)检测经粗略推动后的所述基板所在的实际位置，并输出所述实际位置信息；

(4)接收所述实际位置的信息；

(5)将所述实际位置信息与所述目标信息进行比较；

(6)计算出实际位置信息与所述目标信息之间存在的定位误差；

(7)根据所述定位误差将所述基板移动到指定位置；

(8)检测所述基板在指定位置处的实际位置信息，并输出所述指定位置所对应的实际位置信息；

(9)接收所述实际位置的实际位置信息，并对比所述实际位置信息与所述目标信息是否吻合；若，不吻合，则重复执行步骤(6)至(9)直至所述实际位置信息与所述目标信息相吻合；若，吻合，则继续执行以下步骤；

(10)固定夹持所述基板。