[发明专利]双正交衍射光栅计量系统及其构成的共基面扫描工作台

权利要求书

1.采用正交衍射光栅二维同步计量系统的共基面扫描工作台，包括双正交衍射光栅二维同步计量系统和共基面二维位移机构；共基面二维位移机构包括共基面平台（210），共基面平台（210）上安装有一对x向平行放置的x向导轨和一对y向平行放置的y向导轨；双正交衍射光栅二维同步计量系统的动光栅座（5）安装在x向导轨的滑块上，动光栅座（5）连接x向滚珠丝杠（107），其在x向驱动电机的带动下沿x向运动；共基面平台（210）连接y向滚珠丝杠（207）,另有一固定支撑架（2）通过连接y向导轨的滑块与共基面平台（210）连接，共基面平台（210）在y向驱动电机的带动下沿y向运动；静光栅座（4）通过底下加两块薄垫片固定安装在固定支撑架上，固定支撑架与大理石基座固定；动光栅座（5）上安装有目标工作台（3）；

所述双正交衍射光栅二维同步计量系统，包括静光栅座（4）和位于其下方的动光栅座（5），在静光栅座（4）和动光栅座（5）上分别安装有第一，第二正交衍射光栅（11a，11b），正交衍射光栅是刻蚀有双向正交栅线的光栅，第一正交衍射光栅（11a）的工作面位于第二正交衍射光栅（11b）工作面的正上方，两光栅的对应栅线平行；静光栅座（4）上设有激光源，激光源发出的光垂直入射第一正交衍射光栅（11a）的工作面，并透射到第二正交衍射光栅（11b）的工作面上，最终被一光电接收器接收。