[发明专利]一种用于真空环境的减振器

权利要求书

1.一种用于真空环境的减振器，包括腔体(17)，腔体(17)内设 有由气缸(12)和活塞(3)构成的空气弹簧，气缸(12)的侧壁连接高压 气源(15)，气缸(12)底部与腔体(17)底部之间、气缸(12)内侧壁分 别设有一气浮，其特征在于，腔体(17)的两侧壁中间部分分别嵌入了密 封柔性连接件(5)，其中一侧壁还设有用以连接抽气机(7)的排气孔(8)。

2.根据权利要求1所述的减振器，其特征在于，所述密封柔性连接 件(5)为松弛膜结构。

3.根据权利要求2所述的减振器，其特征在于，所述松弛膜结构由 垂向松弛膜和水平向松弛膜交替串连构成。

4.根据权利要求1或2或3所述的减振器，其特征在于，所述减振 器还包括分别用于测量真空环境(11)和腔体(17)气压的气压传感器(19， 20)，以及连接两传感器的控制器(18)，控制器连接抽气机(7)。