[发明专利]基板承载装置

权利要求书

1.一种基板承载装置，其包括第一承载板、至少一个第一定位件、至少一个第二定位件以及一个保护板，所述第一承载板具有用于承载基板的第一承载面，所述第一承载面向内开设有至少一个滑轨，所述第一定位件可滑动地设置于所述滑轨内，所述第二定位件与所述第一定位件对应配合，用于将基板固定于第一承载面，所述保护板固定于所述第一承载板的第一承载面一侧，用于保护基板。

2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述第一定位件具有第一定位孔，所述第一定位孔与第二定位件对应配合。

3.如权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，还包括设置于第一定位件与第二定位件之间的滑动件，所述滑动件具有与第一定位孔相对应的第二定位孔，以供第一定位件穿过。

4.如权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述滑动件包括主体部、延伸部和至少一个滑块部，所述主体部用于与第一承载面接触，所述延伸部自主体部沿平行于第一承载面的方向延伸，用于与基板接触以将基板固定于延伸部与第一承载面之间，所述滑块部自主体部向垂直于第一承载面的方向延伸，用于沿滑轨滑动。

5.如权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述第二定位孔贯穿所述主体部与滑块部。

6.如权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述滑轨包括相连通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽靠近承载面，所述滑块部用于沿第一凹槽滑动，所述第二凹槽远离承载面，所述第一定位件容置于所述第二凹槽。

7.如权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，还包括垫片，所述垫片位于承载面和延伸部之间，用于与所述延伸部及基板相接触。

8.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，还包括一个位于所述第一承载板与保护板之间的第二承载板，所述第二承载板用于承载另一基板。

9.如权利要求8所述的基板承载装置，其特征在于，所述第二承载板具有用于与基板接触的第二承载面，所述第二承载面远离第一承载板，所述保护板固定于所述第二承载面。

10.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述第一承载板具有多个第一固定孔，所述保护板具有多个与第一固定孔一一对应的第二固定孔，所述基板承载装置还包括多个与第二固定孔一一对应的固定件，所述多个固定件用于通过多个第一固定孔、多个第二固定孔将保护板固定于第一承载板。