[发明专利]一种声表面波换能器的制作方法

权利要求书

1.一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述方法包括下列步骤：

步骤A、在压电基体上依次沉积钛、铝钼合金、钛、铝钼合金四层薄膜；

步骤B、涂覆光刻胶并曝光成表面声波换能器图形；

步骤C、采用氯气和氯化硼的混合气体刻蚀掉光刻胶未掩盖的非图形区域；

步骤D、去除光刻胶得到声表面波换能器图形。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤A中，选择石英、硼酸锂或钽酸锂压电晶体为压电基体。

3.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤A中，采用磁控溅射或射频溅射方法沉积四层薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤A中，所述每层钛薄膜的厚度控制在5nm至10nm。

5.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤A中，铝钼合金中钼金属的含量控制为占总重量的0.1％至2％。

6.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤B中，采用光刻或电子束直写方式曝光声表面波换能器图形。

7.根据权利要求1所述的一种声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述步骤C中，氯化硼气体与氯气的质量流量比例为70∶15。