[发明专利]镀膜原料收容装置无效

专利信息
申请号: 200910301852.3 申请日: 2009-04-25
公开(公告)号: CN101871090A 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 裴绍凯 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 原料 收容 装置
【权利要求书】:

1.一种镀膜原料收容装置,其特征在于,该镀膜原料收容装置包括一承载座、多个叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构,所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料,所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内,所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正,所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接,所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。

2.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述承载座包括一侧壁以及一连接在所述侧壁底部的底面,所述开口形成在与所述底面相对的所述侧壁一端,所述底面上开设有一第一通孔,所述支撑轴穿过所述第一通孔与所述坩埚固定连接。

3.如权利要求2所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,该承载座包括一与该开口对应设置的盖体,所述侧壁内表面上设置有多个内螺纹,所述盖体外侧壁设置有多个外螺纹与所述内螺纹对应螺合。

4.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,每个所述坩埚中间形成有一第二通孔,每两个相邻的坩埚之间分别通过一两头销钉与所述第二通孔配合而相互固定连接。

5.如权利要求4所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述两头销钉包括第一销接端、第二销接端以及连接所述第一销接端与第二销接端的抵持部,所述第一销接端、第二销接端的直径均与所述第二通孔的直径相等,所述抵持部的直径大于所述第一销接端、第二销接端的直径。

6.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述坩埚呈环状体,其包括一外侧壁以及一内侧壁,所述外侧壁与所述内侧壁之间形成有一收容槽,所述镀膜原料收容在所述收容槽内。

7.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述升降机构还包括一驱动马达,所述驱动马达具有一转动齿轮,所述支撑轴上形成有多个锯齿,所述转动齿轮与所述锯齿啮合。

8.如权利要求7所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述升降机构还包括一与该驱动马达电连接的控制器,该控制器用于根据设定的位移值来控制该驱动马达的行程。

9.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,所述支撑轴的长度大于等于所述承载座的纵向长度。

10.如权利要求1所述的镀膜原料收容装置,其特征在于,当镀多层膜时,各个所述坩埚内按照顺序分别放置对应膜层的镀膜原料。

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