[发明专利]电容式传感器及陀螺仪

权利要求书

1.一种电容式传感器，其包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀的固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀的固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容器的两极。

2.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器是采用硅材料制成。

3.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器是采用MEMS技术制造。

4.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器还包括一电容量测电路及一与所述电容量测电路电连接的数/模转化模块，所述定极板与动极板分别与电容量测电路相电性连接。

5.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述定栅与动栅都呈圆弧状。

6.如权利要求5所述的电容式传感器，其特征在于：所述定栅的弧长从靠近侧壁的一端到远离侧壁的另一端逐渐减小，所述动栅的弧长从靠近侧壁的一端到远离侧壁的另一端逐渐增大。

7.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述底板为一圆形基板。

8.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述弹性装置为弹性材料螺旋上升绕设而成的塔簧，所述弹性装置的旋转半径由下至上逐渐增大。

9.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述弹性装置为弹性材料在同一表面上依次绕设而成的涡卷簧。

10.一种陀螺仪，其包括一承载装置、一电路模块及三个电容式传感器；所述三个电容式传感器分别沿空间坐标轴的三个相互垂直的方向固设在承载装置上；所述电路模块对电容式传感器感测的信号进行处理；所述电容式传感器包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述电容式传感器包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀的固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀的固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容器的两极。