[发明专利]坩埚及真空蒸镀系统无效
| 申请号： | 200910302893.4 | 申请日： | 2009-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101906610A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 真空 系统 | ||
1.一种坩埚，用于放置颗粒状膜料；其特征在于：所述坩埚包括一底板、一侧壁及多个通风管道；所述底板上设置有一载料区，用于承载颗粒状膜料；所述侧壁垂直固设于底板边缘，并与所述底板形成一容置空间；所述每个通风管道包括一进气端和一出气端；多个通风管道容置于所述容置空间内，且其进气端固设于侧壁上且与侧壁上的通风口相连通，出气端朝向于底板并围绕所述载料区分布。
2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于：所述多个通风管道的出气端两两相互邻接将所述载料区环绕。
3.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于：所述底板为圆形结构。
4.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于：所述多个通风口均匀间隔开设于侧壁。
5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于：所述坩埚采用一体成型。
6.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于：所述坩埚采用高温耐热金属材料制成。
7.如权利要求6所述的坩埚，其特征在于：所述高温耐热金属材料为钨、钼或钽中的一种。
8.一种真空蒸镀系统，其包括一蒸镀腔、一底座、一坩埚及一热风源；所述底座设置于蒸镀腔内；所述坩埚设置于底座上，用于放置颗粒状膜料；所述热风源位于底座下方，该热风源与坩埚相连通；其特征在于：所述坩埚包括一底板、一侧壁及多个通风管道；所述底板上设置有一载料区，用于承载颗粒状膜料；所述侧壁垂直固设于底板边缘，并与所述底板形成一容置空间；所述每个通风管道包括一进气端和一出气端；多个通风管道容置于所述容置空间内，且其进气端固设于侧壁上且与侧壁上的通风口相连通，出气端朝向于底板并围绕所述载料区分布。
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