[发明专利]镀膜机无效
申请号: | 200910302939.2 | 申请日: | 2009-06-05 |
公开(公告)号: | CN101906611A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 裴绍凯 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 | ||
1.一种镀膜机,该镀膜机用于将待镀液体镀到基板上,其特征在于,所述镀膜机包括容器、转子及加热器,所述容器包括侧壁,至少一块所述基板固定于所述侧壁上,所述容器设置有入液口及排气口,待镀液体通过所述入液口注入所述容器内,所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转,使得待镀液体覆盖所述基板,所述加热器加热所述基板,用于将所述基板表面的待镀液体蒸发,在所述基板表面形成膜结构。
2.如权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述容器的侧壁是圆弧形侧壁。
3.如权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述容器包括出液口,所述出液口设置于所述侧壁上,用于排出镀膜后过多的待镀液体。
4.如权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述加热器设置于所述侧壁上,用于加热所述侧壁。
5.如权利要求4所述的镀膜机,其特征在于,所述加热器采用多个加热棒,所述多个加热棒沿所述容器圆周方向等间距设置。
6.如权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述加热器采用红外线、电加热方式进行加热。
7.如权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述入液口设有一阀门,当向所述容器内注入液体时所述阀门打开,当所述镀膜机镀膜时关闭。
8.如权利要求3所述的镀膜机,其特征在于,所述出液口设有一阀门,当所述镀膜机镀膜完成时所述阀门打开,当所述镀膜机镀膜时关闭。
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