[发明专利]投影式量测装置无效
申请号: | 200910303058.2 | 申请日: | 2009-06-08 |
公开(公告)号: | CN101907442A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 黄建峰 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 投影 式量测 装置 | ||
1.一种投影式量测装置,其包括目镜、物镜、光源、设于该物镜和光源之间的载物台和与该载物台相连的水平驱动机构,其特征是,该载物台具有与水平面垂直的载物面,该量测装置进一步包括设于该物镜和该载物台之间的投影部,该投影部包括与物镜相对水平设置的投影板,在该光源的照射下,固定于该载物面的工件在该投影板内形成投影。
2.如权利要求1所述的投影式量测装置,其特征是,该投影式量测装置进一步包括基座,该水平驱动机构包括承载体、滑块、传动轴和驱动器,该承载体固定于该基座,其包括顶壁和自顶壁两端部延伸的侧壁,该顶壁和侧壁配合围合形成腔体,该顶壁开设有与该腔体贯通的滑槽,该载物台和该滑块分别固定于该顶壁的相对两侧,且该滑块收容于该腔体内,该传动轴贯穿该侧壁和滑块,并与驱动器相连,其在驱动器的驱动下带动滑块和载物台沿滑槽滑动。
3.如权利要求1所述的投影式量测装置,其特征是,该投影式量测装置进一步包括基座,该水平驱动机构包括承载体、滑块、移动平台、传动轴和驱动器,该承载体固定于该基座,其包括顶壁和自顶壁两端部延伸的侧壁,该顶壁和侧壁配合围合形成腔体,该顶壁开设有与该腔体贯通的滑槽,该移动平台和该滑块分别固定于该顶壁的相对两侧,且该滑块收容于该腔体内,该载物台固定于该移动平台,并与物镜相对,该传动轴贯穿该侧壁和滑块,并与驱动器相连,其在驱动器的驱动下带动滑块、移动平台和载物台沿滑槽滑动。
4.如权利要求2或3所述的投影式量测装置,其特征是,该投影式量测装置进一步包括数据单元,该数据单元包括位置探测器和微处理器,该位置探测器一端与滑块相连,用于感测滑块滑动前后的位置,并将该滑块滑动前后的位置传输至该微处理器,该微处理器用于将该滑块滑动前后的位置转换为位置坐标数据,从而获取滑块滑动距离。
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