[发明专利]工件内孔表面粗糙度测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种工件内孔表面粗糙度测量装置。

背景技术

当前，工业生产对具有内孔的工件(如半导体机台中使用的管件及筒件)的内孔表面粗糙度要求越来越高。因此，工件使用前通常需经过工件内孔表面粗糙度测量，以判断工件是否符合使用要求。目前，工件内孔表面粗糙度的测量大部分需通过大型精密测量机台完成(如光学检测设备等)，成本较高。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种成本低的工件内孔表面粗糙度测量装置。

一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其包括一个基座、至少三个固定板、至少三组弹性元件、一个转轴及一个测微表。所述基座包括一个承载面及至少一个设立于所述承载面上的侧壁。所述至少一个侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间。所述至少三个固定板朝向所述固定中心轴放置于所述内部空间内。所述至少三组弹性元件用于连接对应的一个固定板至所述至少一个侧壁上。所述至少三组弹性元件的作用力朝向所述固定中心轴。所述转轴沿所述中心轴设置。所述测微表包括一个探头及一个读书器。所述探头固定于所述转轴，用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号。所述读数器与所述探头电性连接，用于接收并处理所述电信号、计算并显示对应的粗糙度。

所述工件内孔表面粗糙度测量装置采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的测量，成本低。

附图说明

图1为本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置的立体示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置100包括一个基座10、三个固定板20、三组弹簧30、一个转轴40及一个测微表50。

基座10包括一个圆盘状底板12及一个圆筒状侧壁14。圆盘状底板12包括一个承载面122。圆筒状侧壁14的外径与圆盘状底板12的直径基本相同。圆筒状侧壁14对齐圆盘状底板12的边缘垂直设立于承载面122上。如此，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14共同界定一个圆筒状内部空间142。圆筒状内部空间142具有一个固定中心轴144，即圆筒状侧壁14的中心轴。本实施方式中，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14一体成型。

可以理解，圆盘状底板12并不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其他具有承载面122的底板替换圆盘状底板12，如，方形底板。侧壁14也不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其他可以界定一个具有一个固定中心轴144的内部空间142的侧壁。如，多个不连续的弧形侧壁。圆盘状底板12与圆筒状侧壁14也可以分离成型，再通过胶合等方式组装成基座10。

三个固定板20形状基本相同，为长方形板。每个固定板20包括一个固定面22。固定面22上形成有咬纹222。三个固定板20放置于内部空间142内(如可直立放置于承载面122上)。三个固定面22朝向固定中心轴144。

可以理解，固定板20的形状并不限于本实施方式，可为其他形状，如圆盘状。在其他实施方式中，还可采用具有平滑的固定面(即没有咬纹222)的固定板。

三组弹簧30分别用于连接一个固定板20至圆筒状侧壁14。本实施方式中，固定板20由弹簧30悬挂于内部空间142内。具体地，每组弹簧30包括有一个弹簧30。每个弹簧30基本沿圆筒状侧壁14的直径方向连接固定板20与圆筒状侧壁14，且：(1)当工件200具有圆形外轮廓时，一个弹簧30的自然长度、一个固定板20的厚度及工件200的外径之和大于圆筒状侧壁14的内半径；及(2)当工件200具有非圆外轮廓时，一个弹簧30的自然长度、一个固定板20的厚度及工件200外轮廓的最长尺寸的一半之和大于圆筒状侧壁14的内半径。如此，当工件200放置于固定板20之间时，弹簧30将被压缩，并产生朝向固定中心144的作用力，以约束固定板20固定工件200。

优选地，三组弹簧30及三个固定板20等角分布于圆筒状侧壁14的内圆周上，如此，更有利于工件200的受力平衡与固定。可以理解，固定板20的个数与弹簧30的组数不限于本实施方式。在其他实施方式中，视定位强度的需求，可以采用更多个的固定板20及更多组的弹簧30。可以理解，弹簧30也不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其他的弹性元件替换弹簧30，如，弹片。

转轴40可以为马达的转子，其沿固定中心轴144设置。本实施方式中，转轴自圆盘状底板12下面转动伸入内部空间142并沿固定中心轴144设置。