[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，包括第一镀膜腔体、第二镀膜腔体、缓冲腔体、阻隔体、直线驱动装置，该缓冲腔体与该第一镀膜腔体、第二镀膜腔体相连，该缓冲腔体包括与第一镀膜腔体、第二镀膜腔体相对的主腔体以及与该主腔体相连通的辅腔体，该阻隔体收容在该辅腔体内，该直线驱动装置固定于该辅腔体并与该阻隔体相连接，该直线驱动装置驱动该阻隔体移动至该主腔体内以阻断第一镀膜腔体与第二镀膜腔体之间的气体流通。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该第一镀膜腔体内设置有第一旋转螺杆，第一旋转螺杆沿第一镀膜腔体的中心轴线向缓冲腔体方向延伸且第一旋转螺杆不超出第一镀膜腔体，第一旋转螺杆可相对第一镀膜腔体转动，该第二镀膜腔体内设置有第二旋转螺杆，第二旋转螺杆沿第二镀膜腔体的中心轴线向缓冲腔体方向延伸且第二旋转螺杆不超出第二镀膜腔体，第二旋转螺杆可相对第二镀膜腔体转动。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，该第一镀膜腔体具有与缓冲腔体相对的侧壁以及与该侧壁相连接的底壁，该第二镀膜腔体也具有与缓冲腔体相对的侧壁以及与侧壁相连接的底壁，该第一旋转螺杆设置在第一镀膜腔体的侧壁上，该第二旋转螺杆设置在第二镀膜腔体的侧壁上。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，该第一镀膜腔体与第二镀膜腔体的底壁上均开设有用于放置镀膜材料的凹槽。

5.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，该第一镀膜腔体形成有收容腔，该收容腔内收容有基板固定座，该基板固定座开设有与第一旋转螺杆相螺合的螺纹孔，基板固定座通过该螺纹孔螺合固定至第一旋转螺杆。

6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，该第一镀膜腔体设置有第一伸缩杆，该第一伸缩杆的一端固定在第一镀膜腔体的侧壁上，该第一伸缩杆位于第一旋转螺杆的一侧，该第一伸缩杆可沿平行于第一镀膜腔体中心轴线的方向伸缩。

7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，该基板固定座开设有与该第一伸缩杆相配合的固定孔。

8.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，该第二镀膜腔体设置有第二伸缩杆，该第二伸缩杆的一端固定在第二镀膜腔体的侧壁上，该第二伸缩杆位于第二旋转螺杆的一侧，该第二伸缩杆可沿平行于第二镀膜腔体中心轴线的方向伸缩。

9.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该辅腔体的数量为两个，该两个辅腔体对称设置在主腔体的两侧。

10.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该阻隔体为两个，该两个阻隔体分别收容在该两个辅腔体内，该两个阻隔体均为半圆柱体，且半径相等。