[发明专利]溅镀料架

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种溅镀料架。

背景技术

溅镀是利用高能粒子(如离子)轰击溅镀靶表面，使被轰击出的粒子(如原子、离子等)沉积在镀件表面。溅镀因具有较佳沉积效率、精确控制成份以及较低制造成本等优点，在工业上被广泛应用。

在溅镀工艺中采用料架固定镀件。该料架包括主轴和多根沿主轴轴向方向间隔设置于主轴的固持件。该主轴一端与驱动装置相连。每根固持件自主轴沿平行于主轴径向的方向延伸，其中轴线垂直于主轴的中轴线。该固持件未与主轴相连的一端用于固持镀件。溅镀时，该主轴在驱动装置的驱动下以溅镀靶为中心旋转，从而带动固持于固持件的镀件围绕溅镀靶旋转，实现对多个镀件批量镀膜。

针对不同尺寸的镀件，需改变相邻两固持件之间的距离，以避免相邻两镀件相互遮挡，造成镀件被遮盖部分未被镀膜，即，需对应设置不同的溅镀装置，这无疑会增加生产成本。若采用同一料架，则需在满足相邻两镀件不相互重叠的条件下选择性地使用固持件，这样一来，必然有部分固持件空置，降低生产效率。

因此，有必要提供一种可根据镀件尺寸灵活调整相邻两固持件间距的溅镀料架来降低生产成本和提高生产效率。

发明内容

以下以实施例为例说明一种相邻两固持件间距可调的溅镀料架。

一种溅镀料架，其包括主轴、多个固持件和多个弹性件。该主轴包括第一端面、与第一端面相对的第二端面以及连接于第一端面与第二端面之间的周面。该主轴自第一端面沿其轴向设有收容槽和通道，由此得到平行于第一端面的内表面。该通道止于该内表面，并贯穿该收容槽，其将主轴位于第一端面与内表面之间的部分分割为至少两个相互隔开的定位体。各定位体具有平行于主轴轴向的定位面，其自该定位面朝定位体内部设有多个沿主轴轴向排列的卡位切口。该多个卡位切口的数量大于该多个固持件的数量，各卡位切口贯通周面，并与该收容槽和通道相通，用于收容卡紧一个固持件。该多个固持件中每相邻两固持件通过一个弹性件相连。每个固持件的两端位于该主轴外，用于固持镀件，各弹性件收容于该收容槽内，用于在发生弹性变形时使得该相邻两个固持件中的至少一个在通道内移动后卡紧于对应的卡位切口从而改变该相邻两个固持件间距。

本技术方案提供的溅镀料架设置了通道、弹性件和卡位切口，可在固定相邻两固持件中的一个的情况下通过弹性件的弹性形变来调节相邻两固持件之间的距离，并将调节好间距的各固持件卡位于对应的卡位切口，实现相邻两固持件间距可调，由此避免相邻两镀件相互遮挡。此外，每个定位体所开设的卡位切口的数量大于固持件的数量，使得可使用全部固持件来固定镀件，避免了固持件闲置，提高了镀膜效率。

附图说明

图1是本技术方案实施例提供的溅镀料架非使用状态的示意图。

图2是图1所示溅镀料架的俯视图。

图3是图1所示溅镀料架的分解示意图。

图4是采用本技术方案实施例提供的溅镀装置对镀件镀膜的示意图。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本技术方案提供的溅镀料架进行详细说明。

请一并参见图1至图3，本技术方案一实施例提供的溅镀料架100包括主轴110、多个固持件120和多个弹性件130。该多个固持件120和多个弹性件130可移动地收容于主轴110。相邻两固持件120通过一个弹性件130相连。

主轴110呈圆柱体状，其具有第一端面1101、第二端面1102和周面1107。第一端面1101与第二端面1102相对，且相互平行。周面1107设于第一端面1101和第二端面1102之间，并与第一端面1101和第二端面1102相连。主轴110自第一端面1101的中心区域沿主轴110的轴向设有圆柱体状的收容槽1103，由此于该收容槽1103内形成平行于第一端面1101和第二端面1102的内表面1106。主轴110还自第一端面1101沿其轴向开设有第一通道1104和第二通道1105。第一通道1104和第二通道1105均止于内表面1106，并贯穿收容槽1103。第一通道1104和第二通道1105于内表面1106的投影相交于收容槽1103于内表面1106的投影的中心区域。第一通道1104与第二通道1105相互配合地将主轴110位于第一端面1101和内表面1106之间的部分沿平行于主轴110的轴向的方向分割成四个相互隔开的定位体，即第一定位体110a、第二定位体110b、第三定位体110c和第四定位体110d。