[发明专利]一种低射频阻抗测量装置

权利要求书

1.一种低射频阻抗测量装置，其特征在于：在被测低射频阻抗电路与矢量网络分析仪的同轴测试口之间依次连接第一阻抗变换微带线、第二阻抗变换微带线以及同轴过渡微带线，在第二阻抗变换微带线端面上矢量网络分析仪测得的阻抗Z_LM与被测低射频阻抗电路的阻抗之间存在关系式：                                               ,其中，Z_L为被测低射频阻抗电路的阻抗，Z₀₁为第一阻抗变换微带线的特性阻抗，Z₀₂为第二阻抗变换微带线的特性阻抗，Z₀₂：Z₀₁的比值大于1；

所述第一阻抗变换微带线为90o阻抗变换线；第二阻抗变换微带线为90°阻抗变换线。

2.根据权利要求1所述的低射频阻抗测量装置，其特征在于：所述第一阻抗变换微带线的线宽为功率晶体管的引线宽度。

3.根据权利要求1所述的低射频阻抗测量装置，其特征在于：所述同轴测试口与同轴过渡微带线引入的测试误差由微带校准件消除，所述微带校准件由三个同轴－微带过渡连接器和微带校准件电路板构成，其中第一同轴－微带过渡连接器与第一个50Ω终端开路微带线一起构成Open校准件，第二同轴－微带过渡连接器与50Ω终端短路微带线一起构成Short校准件，第三同轴－微带过渡连接器与第二个50Ω终端开路微带线和两个100Ω接地表面安装电阻一起构成Load校准件，表面安装电阻的接地由微带校准件电路板上的6个金属化过孔来实现。

4.根据权利要求1或3所述的低射频阻抗测量装置，其特征在于：所述同轴过渡微带线为50Ω微带线。

5.根据权利要求1或3所述的低射频阻抗测量装置，其特征在于：所述同轴测试口为50Ω同轴测试口。