[发明专利]玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种台面二极管酸腐蚀工艺，尤其是一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺。

背景技术

目前广泛用于玻璃钝化台面二极管芯柱腐蚀的方法是酸腐法。硅材料的传统酸腐是利用硝酸、氢氟酸与冰乙酸的混合液进行腐蚀。这种成熟的传统腐蚀法用于玻璃钝化台面二极管的柱腐蚀时，腐蚀效果的重复性较差。造成这种现象的主要原因是腐蚀液对相同复合电极的强烈腐蚀引起腐蚀液温度升高，造成腐蚀速率和腐蚀时间不宜控制所致。时间稍长，反应剧烈，在进行去离子水冲洗时很容易造成管芯台面氧化；时间稍短，又使得管芯台面腐蚀不充分、不均匀，达不到清洁台面的目的。这两种台面状况都会造成器件的低击穿和软特性。同时，由于钼铜复合电极与腐蚀液的剧烈反应，使得大量的铂、铜离子进入腐蚀液，对台面表面造成了新的沽污，这种金属离子吸附在台面表面会引起器件的高温动态特性不良。因此，在操作中为了控制腐蚀液的温升，避免复合电极的过量腐蚀并得到充分腐蚀的台面，在工艺中往往采用加大腐蚀液用量和冰镇腐蚀液等措施，这样又造成了操作麻烦，并增加了材料成本。

发明内容

本发明的目的是：提供一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺，它能有效控制管芯腐蚀的速率和温度，以得到电特性良好、台面表面清洁的二极管，而且加工成本低，生产操作方便，以克服现有技术的不足。

本发明是这样实现的：玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺，将25～40份mol浓度为65～70％的硝酸，10～40份mol浓度为38～42％氢氟酸，8～15份mol浓度为96～98％的硫酸以及35～40份mol浓度为99.9％的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液，待腐蚀液冷却至常温后注入到插好管芯的腐蚀模内，对管芯腐蚀2～4次，每次腐蚀60～120秒，每次腐蚀后均用喷水枪对管芯冲水30～180秒；并预先用10～20份双氧水，10～20份mol浓度为83～88％的磷酸以及70～80份去离子水配制得到钝化液，将配制好的钝化液注入到腐蚀好管芯的腐蚀模内，进行化学钝化1～2分钟，钝化结束后用喷水枪对管芯冲水30～180秒，然后将腐蚀盘放入超声清洗器中超声5～10分钟，最后用喷水枪冲水将管芯冲洗干净，送入管芯保存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份数均按体积份数计算。

将配置好的腐蚀液放置在容器中，用冰水浴降温至20～30℃后使用。

配置好的钝化液的使用时间不超过2小时。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明采用腐蚀液短时间次数多的腐蚀方法来对管芯进行腐蚀，既能有效控制管芯腐蚀的速率和温度，又防止大量的铂、铜离子进入腐蚀液，避免对台面表面造成新的沽污，从而得到电特性良好，台面表面清洁的二极管。本发明的方法简单，操作方便，使用效果好。

具体实施方式

本发明的实施例：玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺，在生产A423型时，将30份mol浓度为68％的硝酸，15份mol浓度为42％氢氟酸，13份mol浓度为96％的硫酸以及35份mol浓度为99.9％的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液，将腐蚀液装入有盖的塑料容器中，用加冰块的水将腐蚀液冷却至25℃后注入到插好管芯的腐蚀模内，对管芯腐蚀4次，第1次腐蚀时间为120秒，第1次腐蚀后用喷水枪对管芯冲水30秒，再进行第2次腐蚀，第2次腐蚀的时间为90秒，腐蚀后用喷水枪对管芯冲水30秒，再进行第3次腐蚀，第3次腐蚀的时间为60秒，腐蚀后用喷水枪对管芯冲水30秒，最后进行第4次腐蚀，第4次腐蚀的时间为30秒，腐蚀后用喷水枪对管芯冲水180秒；并预先用15份双氧水，15份mol浓度为85％的磷酸以及75份去离子水配制得到钝化液，将配制好的钝化液注入到腐蚀好管芯的腐蚀模内，进行化学钝化1分钟，钝化结束后用喷水枪对管芯冲水120秒，然后将腐蚀盘放入超声清洗器中超声6分钟，以除去管芯表面的杂质，最后用喷水枪冲水将管芯冲洗干净，送入管芯保存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份数均按体积份数计算；配置好的钝化液的使用时间不超过2小时。

腐蚀的时间及次数与管芯及引线的大小有关。采用短时间次数多的方法来对管芯进行腐蚀的目的是为了控制管芯腐蚀的速率和温度，防止大量的铂、铜离子进入腐蚀液，避免对台面表面造成新的沽污，从而得到电特性良好，台面表面清洁的二极管。采用冰水浴对腐蚀液进行降温，既能缩短降温时间，又能节约降温成本。由于钝化液中采用了双氧水进行配置，因此放置时间过长则会导致双氧水分解，而影响钝化液的配比，从而影响钝化效果。