[发明专利]改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺有效
| 申请号： | 200910311227.7 | 申请日： | 2009-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101700466A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 唐前正;张新;李钊;王璜;卫雄;山玉庸 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/40;B01D53/68;C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 武森涛 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改良 西门子 多晶 生产 中残液 尾气 处理 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，将高沸物残液及氯硅烷尾气与淋 洗剂进行中和反应，中和反应后的气体排空，中和反应后的液体处理至中性后进行无害化处 理，其特征在于：所述淋洗剂按体积百分比计为10～30％石灰乳，中和反应后的气体经过装 有淋洗剂的液封罐吸收后排空。
2.根据权利要求1所述的改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，其特征在 于：所述淋洗剂按体积百分比计为10％石灰乳。
3.根据权利要求1或2所述的改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，其特 征在于：淋洗剂pH值＞8时循环使用。
4.根据权利要求1或2所述的改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，其特 征在于：淋洗剂pH值≤8时补充10～30％石灰乳至pH值＞8后继续循环使用。
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