[发明专利]一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法

权利要求书

1.一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法是通过以下步骤实现的：一、将稿台玻璃用超声波清洗50~80min，然后将稿台玻璃置于过滤阴极电弧沉积设备真空仓内的样品台上；二、将真空仓内抽真空至1.0×10^-6～9.9×10^-6Torr后通入氩气，控制氩气流量为18~24 cm³/min，当真空仓内压强达到8.0×10^-5～1.0×10^-4Torr时，将样品台转至离子清洗位置，对稿台玻璃表面进行离子清洗10～20min，然后关闭氩气，再将样品台转至沉积位置；三、继续对真空仓进行抽真空，当真空度达到1.0×10^-6～9.9×10^-6Torr时，再将样品台加热至400~1000℃，然后通入氧气，氧气流量控制在50～70 cm³/min，然后调入扫描波形，设置沉积参数为：弧电流为100～130A，基底偏压为-300V，扫描时长为2～8min；四、当真空仓内真空度为4.0×10^-4～7.0×10^-4Torr时，开启装置，开始对铝靶施加电压起弧，向稿台玻璃表面沉积镀膜；本次镀膜结束后将氧气流量调至3~4 cm³/min；五、将样品台转至离子清洗位置，然后通入氩气，氩气流量控制在15~20cm³/min，当真空仓内压强为8.0×10^-5～1.0×10^-4Torr时，对样品台施加-500V ~ -800V的电压，进行反溅，反溅时间控制在1~4min；六、重复操作步骤四和步骤五10~30次，即在稿台玻璃表面得到蓝宝石保护膜。

2.根据权利要求1所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤一中将稿台玻璃用超声波清洗的具体方法为：首先将稿台玻璃用丙酮超声波清洗20min，再用无水酒精超声波清洗20min，最后用去离子水超声波清洗20min。

3. 根据权利要求1或2所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤二中将真空仓内抽真空至2.0×10^-6～6×10^-6Torr后通入氩气。

4. 根据权利要求3所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤二中当真空仓内压强达到8.5×10^-5～9.5×10^-5Torr时，将样品台转至离子清洗位置。

5. 根据权利要求1、2或4所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤三中氧气流量控制在55～65 cm³/min。

6.根据权利要求1、2或4所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤三中氧气流量控制在60 cm³/min。

7.根据权利要求5所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤三中设置沉积参数为：弧电流为110~125A，基底偏压为-300V，扫描时长为3～6min。

8.根据权利要求1、2 、4或7所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤四中当真空仓内真空度为5.0×10^-4～6.8×10^-4Torr时，开启装置。

9.根据权利要求1、2 、4或7所述的一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于步骤四中当真空仓内真空度为6.5×10^-4Torr时，开启装置。