[发明专利]一种自动平衡补偿式硅单晶生长用提升装置有效
申请号: | 200910311749.7 | 申请日: | 2009-12-18 |
公开(公告)号: | CN101713097A | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 李留臣 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 213200 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 平衡 补偿 式硅单晶 生长 提升 装置 | ||
1.一种自动平衡补偿式硅单晶生长用提升装置,其特征在于:
包括竖直设置的旋转主轴(23),旋转主轴(23)的水平端处固定于底板(1)上,旋转主轴(23)与电机(26)连接;
在底板(1)上安装有卷轮箱(2)及支座(4);在支座(4)中平行设置有旋转丝杆(6)和导向杆(22),旋转丝杆(6)和导向杆(22)上同时套接有随动平衡块(5),旋转丝杆(6)与随动平衡块(5)之间通过螺纹套接,导向杆(22)与随动平衡块(5)之间光滑套接,在支座(4)的两端内侧朝向随动平衡块(5)的位置,各设置有一个限位开关(3);
卷轮箱(2)的一端设置有端盖(13),在卷轮箱(2)内部安装有滚动花键轴(12),滚动花键轴(12)上串列套装有滚动花键套(14)和牵引螺套(17),在卷轮箱(2)的内壁上固定设置有牵引螺母(18),牵引螺母(18)与牵引螺套(17)通过螺纹配合,滚动花键套(14)外套有卷扬轮(15),卷扬轮(15)与牵引螺套(17)固定连接,在卷扬轮(15)上缠绕有钢丝绳软轴(16),钢丝绳软轴(16)的下底端安装有籽晶重锤(20);滚动花键轴(12)伸出端盖(13)的一端设置有齿形带轮(10),齿形带轮(10)通过减速器(11)与精密电动机(8)连接,齿形带轮(10)还依次通过齿形皮带(9)、螺杆带轮(7)与旋转丝杆(6)传动连接;
所述的随动平衡块(5)的质量等于滚动花键套(14)、卷扬轮(15)和牵引螺套(17)三者的质量总和;
所述的随动平衡块(5)的质量中心与滚动花键套(14)、卷扬轮(15)和牵引螺套(17)三者总质量的质量中心对称于回转中心A设置;
所述的随动平衡块(5)的转动惯量与滚动花键套(14)、卷扬轮(15)和牵引螺套(17)三者总的转动惯量平衡;
所述的旋转丝杆(6)的螺纹螺距、卷扬轮(15)的卷丝槽距、牵引螺套(17)的螺纹螺距均相同。
2.根据权利要求1所述的提升装置,其特征在于,所述的卷轮箱(2)上开有观察窗(21)。
3.根据权利要求1所述的提升装置,其特征在于,所述的底板(1)上安装有固定配重块(19)。
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