[实用新型]超高真空直线推动导入器

说明书

技术领域

本实用新型涉及超高真空设备，特别是导入器。

背景技术

超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵。样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求的密封性高，操纵都需要在大气侧进行，很多情况样品需要按直线运动导入，而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性能，以保证真空环境，目前的直线导入装置精度有待提高，而且均是刚性部件，密封性能差。

发明内容

本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种超真空直线推动导入器，结构简单，驱动速度快且便捷，精度高，密封性能佳。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：超真空直线推动导入器，外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。

所述真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接外筒连接套，外筒连接套端面带有波纹管连接槽。

所述真空设备连接法兰内驱动轴前端装有导向块，并装有导向块齿轮；导向块为无氧铜导向块。

所述可动法兰上装有指针，外筒上开有刻度槽，指针杆滑动置于刻度槽内。

所述外筒上装有定位螺钉，定位螺钉端头与推动杆活动接触。

所述推动杆上装有把手。

本实用新型超高真空直线驱动器采用固定波纹管来实现密封，使得直线驱动顺畅，密封性能佳，达到放出气体少的要求，而且手动驱动自由，超高真空环境中的直线驱动采用大气侧通过外部推动杆直推方式，驱动速度快，而且便捷，直线驱动位置控制精确，可耐高温烘烤，便于系统到达超高真空。驱动轴前端安装无氧铜导向块，一方面实现气体放出少，另一方面维持驱动杆的驱动直线性。使用固定螺钉，驱动位置可以任意确定。和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜，有利于维持超高真空。本实用新型安装角度自由，是实现超高真空环境中样品精确直线驱动的重要手段。

附图说明：

图1是本实用新型立体结构示意图。

图2是本实用新型剖视图。

图3是本实用新型真空设备连接法兰结构示意图。

图4是本实用新型可动法兰结构示意图。

图中：1导入棒；2真空设备连接法兰；3刻度槽；4指针；5把手；6推动杆；7后部板；8定位螺钉；9外筒；10可动法兰；11波纹管；12导向块；13止轮；14法兰盘；15轴套；16外筒连接套。

具体实施方式：

如图1、2所示的超真空直线推动导入器，外筒9一端装有后部板7，后部板中间开有插孔，外筒另一端固定安装真空设备连接法兰2，真空设备连接法兰由法兰盘14、轴套15和外筒连接套16一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接外筒连接套，外筒连接套端面带有波纹管连接槽，真空设备连接法兰的外筒连接套置于外筒内，波纹管连接槽处焊接波纹管11，波纹管置于外筒9内，且另一端焊接可动法兰10，波纹管内装有导入棒1，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰2中心孔内，真空设备连接法兰中心孔内导入棒前端装有无氧铜导向块12，并装有导向块止轮13防止导向块脱落，导入棒另一端焊接在可动法兰10端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆6，推动杆与后部板活动插接，可动法兰10上固定装有螺钉杆式指针4，外筒上开有刻度槽3，螺钉杆滑动置于刻度槽内，以便于控制行程，外筒上装有定位螺钉8，定位螺钉端头与推动杆活动接触，当达到设备行程时，调紧定位螺钉，推动时旋开定位螺钉。推动杆上装有把手5，操作更方便。其中和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜，有利于维持超高真空。

使用时超真空直线推动导入器通过真空设备连接法兰完成和超高真空设备的连接，内部波纹管及可动法兰实现超高真空和大气环境的分离，旋松定位螺钉后驱动把手和推动杆，使得波纹管被压缩或伸长，驱动导入棒直线运动，直线驱动位置通过指针得知，定位螺钉定位。