[实用新型]三靶多支太阳能集热管镀膜机

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种太阳能集热管镀膜机，尤其是涉及一种三靶多支太阳能集热管镀膜机，是对现有的三靶太阳能集热管镀膜机结构的改进，属于太阳能集热管镀膜机的制作技术。

背景技术：

在现有技术中，太阳能集热管镀膜生产通常使用磁控溅射镀膜机。该机包括传动装置、真空机组、磁控靶、充气系统等；普通镀膜机用三只靶镀膜时，其主传动轴的一端通过皮带轮和减速器与电机相连接，主传动轴的另一端上设有固定大齿轮和大转盘，大转盘上设有轴套，轴套中的自转轴下端设有与固定大齿轮相啮合的小齿轮，轴套中的自转轴上端接有玻璃集热管，即转架为单级齿轮传动，大转盘上的自转轴上安装的小齿轮围绕固定大齿轮旋转，实现公转和自转。每个生产周期需要重新抽真空，由于装管数量少，因此生产效率低，浪费能源。

实用新型内容：

本实用新型的目的就是针对现有技术存在的上述问题，提供一种装玻璃管数量多，生产效率高的新型三靶多支太阳能集热管镀膜机。这种新型的三靶多支太阳能集热管镀膜机的转架采用双级齿轮传动，在原来的公、自转基础上实现二次公、自转，这样就可以增加装管数量，而镀膜时间并未增加多少，从而大大提高了生产效率。

本实用新型给出的技术方案是：这种三靶多支太阳能集热管镀膜机，包括有主传动轴，主传动轴的一端通过皮带轮和减速器与电机相连接，主传动轴的另一端上设有固定大齿轮和大转盘，大转盘上设有轴套，轴套中的自转轴下端设有与固定大齿轮相啮合的小齿轮，其特点是所述轴套中的自转轴上端设有二级传动固定齿轮和二级传动转盘，二级传动转盘上设有轴套，轴套中的二级传动自转轴下端设有与二级传动固定齿轮相啮合的二级传动小齿轮，轴套中的二级传动自转轴上端接有玻璃集热管，即转架为双级齿轮传动，在原来的公、自转基础上实现二次公、自转，这样就可以增加装管数量，而镀膜时间并未增加多少，从而大大提高生产效率。

上述技术方案中未所提及的三靶多支太阳能集热管镀膜机的其它组成部分与现有技术相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

生产效率高：

因为每炉装管数量多，而抽真空与镀膜时间延长很少，所以生产效率大大提高，比普通三靶镀膜机生产效率提高70％以上。

附图说明：

图1是原三靶镀膜机结构示意图

图2是图1的俯视图；

图3是本实用新型的结构示意图；

图3是图4的俯视图。

具体实施方式：

如图1～图2所示，现有技术中的三靶太阳能集热管镀膜机，其主传动轴4的一端通过皮带轮3和减速器2与电机1相连接，主传动轴4的另一端上设有固定大齿轮6和大转盘7，大转盘7上设有轴套，轴套中的自转轴下端设有与固定大齿轮6相啮合的小齿轮8，轴套中的自转轴上端接有玻璃集热管10，即转架为单级齿轮传动，大转盘上的自转轴上安装的小齿轮围绕固定大齿轮旋转，实现公转和自转。图中未提及的标记：5是镀膜室，9是磁控靶。

如图3～图4所示，本实用新型给出的这种三靶多支太阳能集热管镀膜机，包括有主传动轴4，主传动轴4的一端通过皮带轮3和减速器2与电机1相连接，主传动轴4的另一端上设有固定大齿轮6和大转盘7，大转盘7上设有轴套，轴套中的自转轴下端设有与固定大齿轮6相啮合的小齿轮8，轴套中的自转轴上端设有二级传动固定齿轮11和二级传动转盘13，二级传动转盘13上设有轴套14，轴套14中的二级传动自转轴15下端设有与二级传动固定齿轮11相啮合的二级传动小齿轮12，轴套14中的二级传动自转轴15上端接有玻璃集热管10，即转架为双级齿轮传动，在原来的公、自转基础上实现二次公、自转，这样就可以增加装管数量，而镀膜时间并未增加多少，从而大大提高生产效率。图中未提及的标记：5是镀膜室，9是磁控靶。