[实用新型]去除全氟碳化物气体的系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气的物理和化学协同净化系统，尤其涉及一种全氟碳化物气体的协同去除系统。

背景技术

随着现代工业的蓬勃发展，温室气体排放量与日俱增。在众多温室气体中，全氟碳化物(简称PFCs)因其具有低毒、化学性质稳定等特点，自二十世纪三十年代被广泛应用于工业生产，尤其是半导体制造业。然而，PFCs在大气中具有较长的存在年限和强烈的红外吸收能力，生产过程中未能完全利用的高浓度PFCs直接排放到大气中将引起强烈的温室效应，使全球平均温度上升，海平面升高，气候异常，影响人类生产和活动。因此，1987年的《蒙特利尔公约》制定了破坏臭氧层的化学物质控制措施。1997年12月，在日本京都召开的《联合国气候变化框架公约》缔约方第三次会议通过了旨在限制发达国家温室气体排放量以抑制全球变暖的《京都议定书》，PFCs被列为需要严格控制的温室气体，截至2005年8月13日，全球已有142个国家和地区签署该议定书，其中包括30个工业化国家，批准国家的人口数量占全世界总人口的80％。中国已于1998年5月签署并于2002年8月核准了该议定书，成为第37个签约国。控制PFCs的排放在过去的三十年间在全球范围内引起强烈的关注，近几年来，随着我国半导体工业的快速发展，PFCs排放量逐年增加。国内相关资料显示，我国在PFCs削减技术研究方面尚未起步，这将制约我国半导体工业以及与PFCs排放相关工业的可持续发展，开展削减PFCs排放的相关工作符合我国的环境保护和经济发展战略。

目前对于削减PFCs排放主要有四个途径：1)选择可以替代PFC_S的新的化学物质；2)生产工艺优化；3)对PFC_S循环再利用；4)对排放的PFCs气体进行末端治理。虽然前三个措施更加符合清洁生产的原则，但是因为产生PFCs工业的工艺现状和经济成本等条件制约，末端治理脱除PFCs气体成为目前比较行之有效的方法。

对于PFC_S气体的末端治理去除，国外目前有很多工艺，包括燃烧方法，热催化氧化方法，等离子体分解方法等。燃烧工艺是向燃烧炉内加入天然气或氢气作为燃料，可以去除90％以上的C₂F₆，NF₃和SF₆，但是对于CF₄的去除却很少，其主要是因为CF₄性质更稳定，不易被去除。燃料的加入使处理成本增加，另外对于副产物，例如HF的收集处理也存在困难，而且燃烧会产生NO_X和燃料不完全燃烧产物，这些物质会形成二次污染。热催化氧化工艺将热分解和催化分解有效的结合，可以有效的分解PFCs，产生的NO_X比较少，但是对反应设备要求很高，且存在催化剂失效，定期需要更换催化剂，运行成本高等诸多问题。等离子体方法处理PFCs需要的设备体积小，运行费用相对较低，产生的NO_X少。其中，微波等离子体与介质阻挡放电、直流电弧、射频等离子体相比，具有能量利用率高，无电极污染，电子密度高，等离子体分布均匀等优点，是进行化学合成与分解，材料表面改性，有害气体降解脱除的理想工艺，但该方法仍然存在耗能较大的缺点。

近年来催化剂与等离子体联合应用去除有害气体成为研究的热点.国外许多学者通过在等离子体反应室中添加固体催化剂，通过等离子体激发催化剂的催化活性，产生等离子体与催化对污染物质的联合去除作用.目前研究的较多的是介质阻挡放电产生的等离子体或表面波等离子体与催化剂的联合作用，而微波等离子体与催化剂协同处理有害气体，尤其是对全氟碳化物的处理未见报道.

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种去除全氟碳化物气体的系统，其目的在于在较低能耗的情况下，有效去除全氟化碳气体，尤其是稳定性很强的CF₄。

本实用新型所述的去除全氟碳化物气体的系统主要包括以下装置：在待处理气体输入口处设置有一流量控制器(或阀门)，流量控制器(或阀门)通过管路连接到反应管，在反应管的内部通过微波产生等离子体，按照气体流入的方向在等离子体后部设置有催化剂床层，所述的等离子体由微波发生器通过波导管提供能量，波导管和反应管采用中心点直接耦合方式。由于是流动中的气体被电离产生等离子体，等离子体为等离子体炬形。按照气体流入的方向在反应管后部设置有湿式吸收装置。气流经等离子体处理后，再经过催化剂床层反应，处理后的气体通过湿式吸收装置吸收氟化氢气体，最后排入大气。