[实用新型]一种用于单面处理的夹持与保护装置无效
| 申请号： | 200920012990.5 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201397805Y | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 宗润福;陈波;谷德君 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单面 处理 夹持 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于单面处理的夹持与保护装置，其特征在于：该装置设有旋转盘(11)和旋转轴(21)，旋转盘(11)位于装置的上方，旋转盘(11)的下方连着中空的旋转轴(21)；旋转盘(11)上表面的中央设有圆柱型的凹槽(12)，支撑架(13)位于旋转盘(11)上表面的圆周边缘，硅片或碟形物放置于支撑架(13)上，硅片或碟形物与旋转盘(11)的边缘之间存在空隙。
2、按照权利要求1所述的夹持与保护装置，其特征在于：凹槽(12)的侧壁上开有气体喷嘴(14)，气体喷嘴(14)的轴线方向与凹槽(12)内壁圆周相切。
3、按照权利要求2所述的夹持与保护装置，其特征在于：旋转盘(11)内沿径向分布导气管(17)，导气管(17)一端与旋转轴(21)中心的气体管路(22)相连，导气管(17)另一端与气体喷嘴(14)相连。
4、按照权利要求1所述的夹持与保护装置，其特征在于：气体喷嘴(14)为3～60个，均布。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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