[实用新型]精密重载真空直线导入装置无效
| 申请号： | 200920014985.8 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201430500Y | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张晓哲;孙影;佟辉;李鹏;汪良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | H02K7/116 | 分类号： | H02K7/116;H02K37/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 重载 真空 直线 导入 装置 | ||
1.一种精密重载真空直线导入装置，其特征在于：包括直线步进电机(7)、固定板(5)、刀口法兰(1)及波纹管(3)，所述固定板(5)设置在刀口法兰(1)上，直线步进电机(7)安装在固定板(5)上，直线步进电机(7)上设有作为输出轴的丝杠(16)，丝杠(16)上螺纹连接有丝母(8)，带有滑块(14)的连接板(13)与丝母(8)相连接、与丝母(8)连动；所述波纹管(3)内设有空心轴(4)，波纹管(3)的一端与法兰(1)相连、空心轴(4)的一端由法兰(1)穿出，波纹管(3)的另一端通过过渡板(11)与连接板(13)相连接、丝杠(16)插入空心轴(4)的另一端；在固定板(5)上设有直线导轨(15)，滑块(14)在直线导轨(15)上往复移动。
2.按权利要求1所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在于：所述连接板(13)上设有调节过渡板(11)与连接板(13)之间间距的调节螺钉(10)。
3.按权利要求1所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在于：所述法兰(1)上固接有固定支座(2)，固定板(5)的一端与固定支座(2)螺纹连接，另一端固接有电机座(6)，直线步进电机(7)安装在电机座(6)上。
4.按权利要求1所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在于：所述过渡板(11)为方形，其上开有多个螺纹孔，波纹管(3)的另一端通过内六角螺栓(12)与过渡板(11)相连接，连接板(13)通过锁紧螺钉(9)与过渡板(11)相连接。
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