[实用新型]一种相干衍射成像处理装置

权利要求书

1.一种相干衍射成像处理装置，它包括光源、放置样品的样品台和图像记录及处理装置，其特征在于，它还包括扩束及波面整形器、多针孔板和步进旋转支架；多针孔板安装在步进旋转支架上，多针孔板上的参考针孔中心与步进旋转支架的旋转中心重合；沿光束前进的方向依次排列光源、扩束及波面整形器、样品、多针孔板和图像记录及处理装置；图像记录及处理装置包括图像传感器，图像传感器置于步进旋转支架之后，并与计算机连接；同时计算机还与步进旋转支架连接。

2.如权利要求1所述的相干衍射成像处理装置，其特征在于，所述样品与多针孔板之间的距离Z1保证照射到多针孔板上的物波在每个针孔通光孔径上的相位变化不大于π/4弧度；所述图像传感器与多针孔板之间的距离Z2满足夫琅和费衍射条件，即图像传感器记录平面上的光场分布正比于透过多针孔板的物波的傅立叶变换。

3.一种相干衍射成像处理装置，它包括光源、放置样品的样品台和图像记录及处理装置，其特征在于，它还包括扩束及波面整形器、多针孔板和步进旋转支架以及傅里叶变换透镜，多针孔板安装在步进旋转支架上，多针孔板上的参考针孔中心与步进旋转支架的旋转中心重合；沿光束前进的方向依次排列光源、扩束及波面整形器、样品、多针孔板、傅里叶变换透镜和图像记录及处理装置；图像记录及处理装置包括图像传感器，图像传感器置于步进旋转支架之后，并与计算机连接；同时计算机还与步进旋转支架连接。

4.如权利要求3所述的相干衍射成像处理装置，其特征在于，所述样品与多针孔板之间的距离Z1保证照射到多针孔板上的物波在每个针孔通光孔径上的相位变化不大于π/4弧度；所述图像传感器位于傅里叶变换透镜的后焦面上，即图像传感器记录平面上的光场分布正比于透过多针孔板的物波的傅立叶变换。

5.如权利要求1或2或3或4所述的相干衍射成像处理装置，其特征在于，所述多针孔板是一块不透明薄板上设置一个参考针孔和若干测量针孔组成；各针孔在多针孔板上的分布满足以下要求：两块完全相同的多针孔板重叠放置，当平移其中一块使其参考针孔和另一块的任一测量针孔重叠时，其它针孔都不会发生重叠；针孔的大小满足一个针孔范围内物波的相位变化不大于四分之一波长。

6.如权利要求5所述的相干衍射成像处理装置，其特征在于，所述多针孔板上的针孔均匀分布在一个半圆环上，针孔中心的间隔相等，不小于针孔直径的1.5倍，位于针孔板中心半圆环一端处的针孔为参考针孔，其他针孔均为测量针孔。

7.如权利要求5所述的相干衍射成像处理装置，其特征在于，所述多针孔板上的针孔分布在三条互成120度的直线上，其中位于针孔板中心三直线相交处的针孔为参考针孔，其他针孔均为测量针孔；参考针孔中心与相邻的测量针孔中心的距离D0不小于针孔直径的1.5倍，其他测量针孔中心的间隔相等，均为D0的两倍。