[实用新型]气体输运沉积装置无效
| 申请号： | 200920023736.5 | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201442975U | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王步峰;李青海;王景义 | 申请（专利权）人： | 山东润峰集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南圣达专利商标事务所有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 277600 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 输运 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体输运沉积装置，其特征是，它包括一个封闭的石墨管式加热器，石墨管式加热器两端分别与气体运输左通道和气体运输右通道连通。
2.如权利要求1所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述石墨管式加热器内设有气体导流装置。
3.如权利要求2所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述气体导流装置为设置在石墨管式加热器内壁的交错布置的一组气体导流板。
4.如权利要求2所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述气体导流装置为一组同心异径的弧状半闭环式气体导流板。
5.一种气体输运沉积装置，其特征是，它包括一个封闭的石墨管式加热器，石墨管式加热器两端中仅有一个与气体运输通道连通，另一端封闭。
6.如权利要求5所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述气体运输通道伸入石墨管式加热器内部，同时在该部分气体运输通道设有储料槽。
7.如权利要求1或5或6所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述气体运输通道为石英管。
8.如权利要求1或2或3或5或6所述的气体输运沉积装置，其特征是，所述石墨管式加热器为直径小而管体狭长的线性加热器。
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