[实用新型]一种多晶硅铸锭用石墨坩埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭用石墨坩埚。

背景技术

现有使用的多晶硅铸锭炉中，用于支撑石英坩埚的石墨坩埚都是由一块底板和四块侧板构成，当发生硅液溢流时，硅液在平坦的石墨坩埚底板上四处流动，从而不能及时发现，因此延长了事故的报警时间。

中国专利授权公告号为CN201104102Y，授权公告日为2008年8月20日的实用新型专利公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，该实用新型在石墨坩埚底板四周与侧板的底部之间开设沟槽，当石英坩埚出现裂缝时，可在沟槽的导引之下，将溢流硅液及时按流向溢流，发出报警。但是由于该实用新型的底板仍为平板，很难保证从石英坩埚裂缝处溢出的硅液能够及时的流向四周的沟槽，从而延迟了报警时间，容易引发事故。

发明内容

为解决以上问题，本实用新型的目的是提供一种多晶硅铸锭用石墨坩埚，该石墨坩埚能够在硅液从石英坩埚裂缝处溢出后引导硅液的流向，从而能够及时报警。

为实现以上目的，本实用新型提供一种多晶硅铸锭用石墨坩埚，该石墨坩埚包括底板和底板四周的曲面侧板，所述底板为内凸形状，且在底板四周与曲面侧板之间开设有引流孔。

所述底板在平面上的投影为多边形、圆形、椭圆形或橄榄形。

所述曲面侧板为一整体曲面。

所述的引流孔至少为四个，且分别设置在底板的四周。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1.由于本实用新型的底板为内凸形状，因此从石英坩埚裂缝处溢出硅液一旦到达底板，就会在重力的作用下，沿着底板外表面流向地板四周，然后到达引流孔，从而及时报警。

2.由于本实用新型的引流孔设置在底板的四周，因此能够确保从石英坩埚四周任何方向裂缝中溢出的硅液都有对应的引流孔，节省了报警时间。

3.由于本实用新型只包括地板和曲面侧板，而且曲面侧板是一整体曲面，不仅节省材料，而且加工简单，节省工时。

附图说明

图1为本实用新型的一种多晶硅铸锭用石墨坩埚的剖视图。

图2为本实用新型的一种多晶硅铸锭用石墨坩埚的仰视图。

图中：底板1，曲面侧板2，石英坩埚3，引流孔4。

具体实施方式

以下结合附图说明对本实用新型作进一步的详细描述。

参见图1和图2，本实用新型的一种多晶硅铸锭用石墨坩埚包括底板1和底板1四周的曲面侧板2，所述底板1为内凸形状，且在底板1四周与曲面侧板2之间开有引流孔4。

所述底板1在平面上的投影为多边形、圆形、椭圆形或橄榄形。

所述曲面侧板2为一整体曲面，优选圆柱形或圆锥形。

所述的引流孔4至少为四个，且分别设置在底板1表面上的四周，且所述引流孔4为相互对称设置。

在实际生产中，把石英坩埚3放入石墨坩埚中，石英坩埚3的底部与石墨坩埚的底板1相接触，同时石英坩埚3的底部与石墨坩埚的曲面侧板2相接触，石墨坩埚的内面积对应石英坩埚3的外面积，从而使石英坩埚3放入石墨坩埚后，双方接触牢固。当石英坩埚3在生产中出现裂缝时，从裂缝中溢出的硅液在重力的作用下会流向底板1，由于底板1为内凸形状，所以当硅液流到底板1上后，由于重力的作用还会继续沿着底板1的表面流向底板1的四周，最终流到设置在底板1和曲面侧板2底部之间的引流孔4中，然后流向报警装置，引发警报。