[实用新型]一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板。

背景技术

在多晶硅的生长过程中，由于多晶硅铸锭炉热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，造成晶锭的良品率大大降低。由于晶体的生长方向是由下向上的，因此在多晶硅铸锭炉热场没改变的情况下，温度的梯度对微晶的产生有着一定的影响。

中国专利授权公告号为CN201183850Y，授权公告日为2009年1月21日的实用新型专利公开了一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，该护板的板体上部开设了用于加快冷却气体通过的气孔。虽然改良了多晶硅生长中温度的梯度，但是效果有限，且不能避免生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙，而产生的缝隙会掉进杂质。

实用新型内容

为解决以上问题，本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，该护板不仅能够改良多晶硅生长中温度的梯度，减少微晶的含量，而且能够有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。

本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括所述护板的板体与板体上部的通气孔，所述板体为一夹层结构，且板体下部为实心结构，板体上部为网络状结构；所述通气孔与所述网络状结构相通。

所述网络状结构的宽度为所述板体整体宽度的三分之一。

所述通气孔的个数为3至8个。

所述通气孔的个数为4个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1.由于本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板为一夹层结构、所述护板上部为网络状结构，且通气孔与所述网络状结构相通，因此通气渠道为网络状结构中的管道，管道多，且相互连通，因此通气速度更快，通气效果更好。

2.由于本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板为一夹层结构，且该护板的上部为网络状结构，因此该种护板具有一定的弹性，对压力有着很好的缓冲作用，可以有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的主视图。

图2为本实用新型一种实施例的左视图。

图中：板体-1，通气孔-2，网络状结构-3。

具体实施方式

下面结合附图与实施方式对本实用新型作进一步说明。

参见图1与图2，本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括所述护板的板体1与板体1上部的通气孔2，所述板体1为一夹层结构，且板体1下部为实心结构，板体1上部为网络状结构3；所述通气孔2与所述网络状结构3相通。

所述网络状结构3的宽度为所述板体1整体宽度的三分之一。

所述通气孔2的个数为3至8个。

所述通气孔2的个数为4个。

在生产过程中，护板安装在多晶硅铸锭炉坩埚的四周，在护板上方盖有石墨盖板，由于护板的板体1为一夹层结构且板体1上部为网络状结构3，再加上通气孔2与网络状结构3相通，因此冷却气的通气渠道为网络状结构3中的管道，管道多且相互连通，能够加快冷却用气体在坩埚上部空间内流动的速度，而通气速度越快，通气效果就更好，从而改良了多晶硅铸锭炉热场中温度的梯度，减少了晶锭中的微晶含量；此外，护板的板体1上部为网络状结构3，因此该种护板具有一定的弹性，对压力有着很好的缓冲作用，可以有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。

以上所述，仅为本实用新型的一部分具体实施方式，本实用新型的保护范围并不局限于此，本领域普通技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。本实用新型实施例的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。